面向传感技术的碳基功能薄膜加工工艺与应用研究.pdf

中文摘要 摘 要 新型碳材料正以其优异的物理化学特性、丰富的自然储量和绿色环保无污染 等特点而在科技、经济、军事等方面发挥着越来越重要的作用，石墨烯（Graphene ） 和类金刚石（Diamond like carbon, DLC ）是在机械、汽车、电子、生物和医疗等领 域均具有广阔应用前景的两种新型碳基功能薄膜材料。面向现代传感和检测技术， 基于碳基功能薄膜的新型传感器具有体积小、响应速度快、检测灵敏度高、加工成 本低、生物兼容性好等优点，是未来传感器的重要发展方向之一。目前，基于石墨 烯的传感器尚处于起步阶段，石墨烯还不能大批量、低成本的制造，石墨烯转移技 术也只适用于小面积的薄膜，传感器的结构尚且存在优化的空间。这些因素使得石 墨烯传感器的相关研究成果还基本停留在实验室中，无法走向实际应用。而对于 DLC 薄膜，尽管已有一些相关的成果得到了应用，但是由于薄膜本身内应力大、 导电性差等缺点，DLC 薄膜的应用条件和适用范围都受到了极大的限制。因此， 深入研究面向先进传感应用的石墨烯和DLC 功能薄膜的微纳加工与检测技术，助 推其突破当前关键技术瓶颈，对于新型传感器走向实际应用具有积极的意义。本文 主要研究工作及结果如下： 采用基于铜箔的冷壁化学气相沉积技术制备了石墨烯薄膜，设计和制作了新 型石墨烯传感器。首先，采用光刻、磁控溅射和剥离等工艺，在二氧化硅基底上制 作了一层厚度为70 nm 、尺寸为 100 μm×100 μm 的金薄膜作为电极，并在基底和 金电极之间溅射了一层 10 nm 厚的钛薄膜作为粘附层。石墨烯传感器每对电极的 间距被设计成两种，分别为30 μm 和80 μm ，每对电极之间均由4 条相等宽度的石 墨烯沟道相连接。采用改良的石墨烯湿法转移技术，成功地将沉积在铜箔上的单层 石墨烯转移至目标基底上。采用光刻和等离子体刻蚀等工艺，对转移的石墨烯薄膜 图案化，以形成石墨烯沟道。通过光学显微镜和电子显微镜进行表征，两种石墨烯 传感器均表现出完整的结构，特别是石墨烯薄膜整体十分平整，几乎没有破洞。最 后，使用石墨烯传感器对三种不同浓度的罗丹明 B 溶液进行了化学检测和分析， 结果表明所制备的石墨烯传感器达到了设计要求，在生化检测和传感方面具有良 好的应用潜力。 为了改善DLC 薄膜导电性不佳、膜基结合力较差等问题，开展了对 DLC 薄 膜进行不同浓度氮掺杂的研究。采用闭合磁场非平衡磁控溅射技术，通过在溅射时 通入不同流量的氮气，在二氧化硅基底上制备了四种不同氮掺杂浓度的无氢DLC 薄膜，溅射时长均为20 分钟。使用X 射线光电子能谱仪和显微共焦拉曼光谱仪对 薄膜的元素含量和化学键架构进行了表征，薄膜的最低含氮量为0 ，即纯DLC 薄 I 重庆大学硕士学位论文 膜，最高含氮量达到了23.37% 。随着掺氮浓度的增加，DLC 薄膜的sp3 杂化键含 量降低，薄膜的石墨相增加。使用表面轮廓仪对薄膜的厚度及生长速率进行了研究， 测得薄膜厚度在 180 nm~350 nm 之间，溅射时通入的氮气流量越大，薄膜的生长 速率越快。使用原位纳米力学测试系统测试了薄膜的纳米机械性能，所有薄膜的摩 擦系数均小于0.11 ，随着氮含量的增加，薄膜表面的纳米硬度从15.4655 GPa 逐渐 降低到了10.1798 GPa 。使用原子力显微镜对薄膜表面粗糙度进行了研究，发现所 有薄膜的表面均十分平滑，均方根粗糙度都小于1 nm 。最后，将四种DLC 薄膜制 作成电极，使用四探针测试仪测量了薄膜电极的电阻率，结果显示，氮掺杂大幅度 降低了DLC 薄膜的电阻率。使用电化学工作站研究了薄膜电极在稀硫酸溶液中的 电位窗口等相关特性，与常规的玻碳电极相比，氮掺杂DLC 薄膜电极的电位窗口、 机械特性和生物兼容性等更为出色，这表明了掺氮DLC 薄膜电极在高电压的氧化 还原反应及生物电极传感等领域具有良好的应用潜力。 关键词：石墨烯；类金刚石；化学气相沉积；磁控溅射；传感技术 II 英文摘要