透射电显微镜成象原理.pptVIP

第二十二章透射电子显微分析  电子显微分析方法的种类 口口口 透射电子显微镜(TEM)可简称透射电镜 扫描电子显微镜(SEM)可简称扫描电镜 电子探针X射线显微分析仪简称电子探针(PA或EPMA):波谱 仪(波长色散谱仪,WDS)与能谱仪(能量色散谱仪,EDS) 电子激发俄歇电子能谱(XAES或AES)  TEM的形式 口透射电子显微镜(简称透射电镜,TEM),可以以几种不同的形式 出现,如: 高分辨电镜( HRTEM) 口口口 透射扫描电镜(STEM) 分析型电镜(AEM)等等。 口入射电子東(照明束)也有两种主要形式: 平行束:透射电镜成像及衍射 会聚束:扫描透射电镜成像、微分析及微衍射。  第一节透射电子显微镜工作原理及构造 工作原理 口成像原理与光学显微镜类似。 口它们的根本不同点在于光学显微镜以可见光作照明束,透射电子显微 镜则以电子为照明東。在光学显微镜中将可见光聚焦成像的是玻璃透 镜,在电子显微镜中相应的为磁透镜 口由于电子波长极短,同时与物质作用遵从布拉格( Bragg)方程,产 生衍射现象,使得透射电镜自身在具有高的像分辨本领的同时兼有结 构分析的功能。  阴畏灯丝 猿光镜 中间饨 投影镜 荧光屏成 相底片 图9-2透射电子显微镜光路原理图  、构造 口TEM由照明系统、成像系统、记录系统、真