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干涉测量技术 （冶金与能源工程学院） 摘要：干涉测量技术已经得到相当广泛的应用。一方面因为微电子、微机械、微光学和现代工业提出了愈来愈高的精度和更大的量程，其它方法难以胜任；另一方面因为当代干涉测量技术本身具有灵敏度高、量程大、可以适应恶劣环境、光波和米定义联系而容易溯源等特点，因而在现代工业中应用非常广泛。 本论文阐述了干涉测量技术的光学原理，测试条件，并以迈克尔逊干涉仪为典型，阐明干涉测量技术的应用，迈克尔逊干涉仪是一种利用分割光波振幅的方法实现干涉的精密光学仪器 关键词： 干涉测量 光学原理 迈克尔逊干涉仪 PSInSAR SUN Ya Juan (Metallurgy and energy engineering institute,Kunming university of science and technology) Abstract：Interference measuring technology has been quite a wide range of applications，On the one hand for microelectronics, micro mechanical, diffractive and modern industry and put forward high precision and greater range, other methods are hard to do the job，On the other hand because contemporary interference measuring technology itself has a high sensitivity, range, and can adapt to bad environment, light and meters contact and easy to trace the definition, etc, thus in the modern industry is widely used. This paper expounds the interference of measuring technology of optical principle, test conditions, and with Michelson interferometer is typical, expounds the application of interference measuring technology, Michelson interferometer is a use of segmentation method of realization of light amplitude precision optical instrument interference Key words: Interferometry Principles of Optics Michelson interferometer 0 、引言 光的干涉现象是光的波动性的一种表现。当一束光被分成两束，经过不同路径再相遇时，如果光程差小于该束光的相干长度，一般将会在干涉场中产生干涉现象。迈克尔逊干涉仪是一种利用分割光波振幅的方法实现干涉的精密光学仪器。自1881年问世以来，迈克尔逊曾用它完成了三个著名的实验：否定“以太”的迈克尔逊—莫雷实验；光谱精细结构和利用光波波长标定长度单位。迈克尔逊干涉仪结构简单、光路直观、精度高，其调整和使用具有典型性。根据迈克尔逊干涉仪的基本原理发展的各种精密仪器已广泛应用于生产和科研领域。 1、干涉测量技术 1.1 关于干涉测量技术 1）.干涉测量技术是以光波干涉为基础的测量技术。 .干涉测量技术能精确到微米级，双波长干涉计量，还可达到更高的测量精度。 3）.用干涉方法测量动态物理量是现代干涉测量技术的一个极为重要的方面。 1.2 测量动态过程的测试方法必须满足的条件 1.）能够严格定量； 2.）必须对全过程进行时间序列测试，以揭示过程 物理量的时间特性； 3.）能对非对称流场或三维体进行三维测量； 4.）测试方法能适应恶劣环境条件，能抗强震动和高温干扰。 1.3 干涉测量的光学基础 几何光学的基本原理 以光的直线传播为基础讨论光的一些基本现象和光通过光学系统的成像原理 1）、光的反射和折射 洛伦茨—劳伦兹公式：