DB44∕T 1328-2014蓝宝石图形化衬底片测试技术规范.pdfVIP

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2020-09-16 发布于广西
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ICS.77.040 H 21 备案号：46732-2015 DB44 广东省地方标准 DB44/T 1328—2014 蓝宝石图形化衬底片测试技术规范 Testing technical specification for patterned sapphire substrate 2014-04-18 发布 2014-07-18 实施广东省质量技术监督局发布 DB44/T 1328—2014 目次前言………………………………………………………………………………………………………Ⅲ 1 范围…………………………………………………………………………………………………………1 2 规范性引用文件……………………………………………………………………………………………1 3 术语和定义…………………………………………………………………………………………………1 4 测试环境……………………………………………………………………………………………………2 5 测试方法……………………………………………………………………………………………………3 6 测试报告格式………………………………………………………………………………………………3 附录 A（规范性附录）扫描电子显微镜测试图形化衬底片的图形结构………………………………5 附录 B（规范性附录）原子力显微镜测试图形化衬底片的图形结构…………………………………6 附录 C（规范性附录）共聚焦显微镜测试图形化衬底片的图形结构…………………………………7 附录 D（规范性附录）金相显微镜测试图形化衬底片的表面质量……………………………………8 附录 E（规范性附录）自动光学缺陷检查设备分类测试图形化衬底片的表面质量…………………9 附录 F（规范性附录）多点数值法测试图形化衬底片的图形一致性…………………………………10 附录 G（规范性附录）反射谱扫描图示法测试图形化衬底片的图形一致性…………………………11 Ⅰ DB44/T 1328—2014 前言本标准按照GB/T 1.1－2009《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写》给出的规则起草。请注意本标准的某些内容可能涉及专利。本标准的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由广东省质量技术监督局提出。本标准由广东省LED光源标准化技术委员会归口。本标准主要起草单位：东莞市中镓半导体科技有限公司。本标准参与起草单位：广东赛翡蓝宝石科技有限公司。本标准主要起草人：丁晓民、张能、刘南柳、戴立忠、杨鹏、康凯、张国义。本标准为首次发布。 Ⅲ DB44/T 1328—2014