cell简单不良分类及原因介绍.pptVIP

? ? ??? Mura ? ( 辉椭圆形 Mura ) ? ?? ( 水纹 )Mura ? C/F 的原因 ? ?????? Mura ? ( 横的椭圆形的 Mura ) ? 成因：？ ? ? ?? Mura ? ( 白斑点 Mura) ? 成因： Pre cure 工序中 panel 受热不均产生的 ? 在 Array 工序中产生的 MURA, 影响 了 TFT 器件。 ? 在进行 Abnormal Test 时，现象变 严重或变弱 ? ? 包括： ? ??? ( 棋 盘 ) Mura ? ??（ 贝壳 ） MURA ? ??（斜 线 ） MURA ? ?? Mura A Mura ??? ( 棋盘 ) Mura ?? （贝壳） MURA 曝光时，有 Particle, 造成对焦没 对好 ?? （斜线） MURA Array 中旋转 cleaning, 离心力 ? ?? Mura 水垢 MURA 成因： Cluster,TFT 器件不好， Ioff 不好