吸气材料研究和应用.pptVIP

吸气材料的研究及应用 ·-、吸气材料的定义 二、吸气材料的一些基本概念 三、吸气材料的应用  、吸气材料(吸气剂、消气剂)的定义 ★在电真空器件和真空科技领域匚气源 吸收残余气体和器件工作时放出 的气体,起到提高和维持器件真 漏气 空度作用的材料。 渗透 负压下工作 解溶解吸 ★惰性气体提纯 蒸发升华分解 可在正压下工作 抽气系统返流 吸气材料  二、吸气材料的一些基本概念 a表面吸附 (b)表面扩散 (c)体扩散 吸附-扩散模型 吸气材料  吸附势能曲线(H2在Ni上) H4g)—H2表面)2H(表面) H 化学吸附 DH常需高温 △H H2(g)r △H/Ea E∴解吸活化能 E:化学吸附活化能 ΔH:物理吸附热 △H:化学吸附(反应)热 Dm:H2的离解能  间隙原子扩散势场示意图  33 ●金属原子 金属原子 o八面体间欧 o四面体间 图面心立方点阵中的间隙  ●金属子 八形体阿欧 图体心立方点阵中的间隙 四面体间隙 图密排六方立方点阵中的间隙  TI Tc T2 表面钝化膜,常温常压下稳定存在 吸气材料激活 表面吸附速度 蒸散型非蒸散型 表面吸附决定扩散决定区 时间 真空成帝性气体 O 吸气材料气体吸着动力学说明 吸气材料