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SPRINGZENITEK SPRING CB-77 DW SCRUBBER An Introduction 半导体废气处理机简介 2005 ZENITEK TECH INC. Manufactured 加拿大 ZENITEK Tech.Inc.荣誉出品 本设备已通过 SEMI-S2安全认证,证书字号:92SEMI0401051 本设备通过 SEMI-S2处理效果测试,证书字号: SPPG兴半导体废气处理机系列 SPRING M-210千式废气处理机(不必清理粉末收集筒式 CB-66干湿交替广用型废气处理机 CB-77燃气摧化式干湿交替型废气处理机 CB-100飓风超大型废气处理机 加-75湿式废气处理机(不必.清理粉末收集筒式) DP25附加式废水处理机  SPRING)SPRING废气处理机特点 对废气高裂解律和高处理效率 拥有世界性专利的特殊喷洒水装置和排水模块设计所带 给使用者免清理堆积物的优 非常周密的使用安全保险设计 很小的体积与小的占地面积使得本设备很容易被安装 在净室内制程设备旁 因为不需停机维修因此中断生产妨害生产的机率常小 也就是可增加生产 对氟化废气的处理率很高可达到99.5% (Semi-S2 Test Certified 可弹性变更设计以配合使用者处理废气上