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静电高压放电脉冲电流电压测量方案
1. 概述
静电放电是一个快速响应，频谱极宽（从直流到几GHz ），大信号的瞬态信号。为了准确测量静电放电电
流与电压信号，对测量探头的基本要求为加入探头后对原来电路信号影响越小，越能准确测量到真实信号。
2. 电流探头：电流探头是串联在测量电路中，因此，希望串入电路后对原来的放电回路影响越小越好，一般
要求在几欧姆以下。早期使用的Rogowski Coil 测量静电放电电流，但由于其低频段响应不好，国际上90 年代以
后静电放电测量电流都不再用Rogowski Coil 了，而是采用设计极为精窍的电流探头，其输入阻抗为2 欧姆，输
出阻抗为50 欧姆，这样与示波器或衰减器的50 欧姆相匹配，防止信
号反射产生失真。亿艾迪.中国ESD-china 的EST-CTR1 静电放电电
流靶，其
技术指标如下：
电流灵敏度：1V/1A （示波器上1V 对应电流1A）
输入阻抗：2 欧姆
输出阻抗：50Ω
最高放电电压：50kV （接衰减器）
频率带宽：DC～1GHz
参考价格：1.3 万（含税）
供货周期：现货
3. 电压探头：
电压的测量是并联在电路中，在同样满足快速响应，频谱极宽，大信号的瞬态信号的要求条件下，为
了减小电压探头并联后对原来电路造成的误差，一般要求探头的输入阻抗比测量回路的高至少在100 倍以
上（引入的误差小于1%）甚至于1000 倍以上。
在本实验中，最高放电电压达到40kV 甚至于50kV. 输出电压通常是几伏或几十伏，输出阻抗一般采用 1M
欧姆（与示波器的1M 欧姆匹配）。目前市场上可用的电压探头，一种是用电阻分压，电阻分压的虽然输入
阻抗可以做得很高，但频率响应非常低，通常只能测量直流或低频信号。而带宽高的电压探头通常输入阻
抗又比较低，一般在几十兆欧姆左右，而且很少能耐压到 20kV 以上的。所以市场上的电压探头几乎没有
能够符合本实验测量的要求。只能专门设计制作。其技术指标参考如下：
电压灵敏度：1KV/v (示波器上显示1V, 对应电压 1kV)
输入阻抗：1000M 欧姆
输入阻抗：1 M 欧姆
最高耐压：40kV (静电脉冲)
频率带宽：DC～1GHz
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