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PAGE PAGE # / 5 能谱定量分析通则 电子探针和扫描电镜 X射线能谱定量分析通则 Gen eral Specificati on of X-ray EDS Quan titative An alysis for EPMA and SEM (中华人民共和国国家标准 GB/T 17359 — 98) 适用范围 本标准规定了与电子探针和扫描电镜联用的X射线能谱仪的定量分析 方法的技术要求和规范。本标准适用于电子探针和扫描电镜X射线能谱仪对块状试样的定量 分析。 引用标准 下列标准包含的条件， 通过在标准中引用而构成本标准的条文。 在标准 出版时，所示版本均为有效。 所有标准都会被修订， 使用本标准的各方应探讨使用本标准最 新版本的可能性。 GB/T4930-1993《电子探针定量分析标准试样的通用技术条件》 GB/T15074-1994《电子探针定量分析标准方法通则》 分析方法原理 在电子探针和扫描电镜等分析仪器中， 应用一定能量并被聚焦的电子束 轰击试样时，被轰击区发射出试样中所含元素的特征X射线， 采用半导体探测器， 对接收的 信号进行转换、放大。再经过线性放大器、脉冲处理器、多道分析器的进一步放大、处理和 分析 ，可获得各元素的特征X射线的能谱及其强度值，再通过与相应元素的 标准试样的X射线能谱的对比测定， 以及修正计算处理，最终可以获得被测试样的化学组成 的