第7讲移相干涉术[文字可编辑].ppt

四步法 I 0 = a+ b cos( ? ) = a+ b cos ? I 1 = a+ b cos ( ? + ? /2) = a - b sin ? I 2 = a+ b cos ( ? + ? ) = a - b cos ? I 3 = a+ b cos ( ? +3 ? /2) = a+ b sin ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 2 0 1 3 tan I I I I a ? 要求相移步长严格等于 ? /2 Hariharan 五步法 Hariharan 五步法对移相器的线性误差有一定的抑制 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ) sin( 2 ) ( tan ) , ( 1 5 3 4 2 1 ? ? I I I I I y x 当 ? =90 ? 时 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1 5 3 4 2 1 2 ) ( tan ) , ( I I I I I y x ? Hariharan 五步法移相误差 图 1.2.3 5% 移相误差所引起的测量误差 （ Hariharan 五步法） 与三步法或四步法相比， Hariharan 五步法的误差下降了 26 倍。 六步法与七步法 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 5 3 1 6 4 2 1 3 4 ) 4 3 ( tan ) , ( I I I I I I y x ? 移相步距 60 ? 六步法 七步法 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 7 5 3 1 6 4 2 1 7 7 ) 2 4 ( tan ) , ( I I I I I I I y x ? 移相误差 图 1.2.4a 六步法 图 1.2.4b 七步法 图 1.2.4 5% 移相误差所引起的测量误差（六步法和七步法） 与 Hariharan 五步法相比，六步法将测量误差减小了约 30 倍 , 而七步法将误差减小了约 3 个数量级。由此可以看出，在移相 干涉术中，移相的步数越多，得到的结果越精确。 Carre 法 ? ? ? ? ? ? ? ? cos ) ( b a I 取 ? =-3 ? ， - ? ， ? ， 3 ? 移相干涉术 陈磊 2008 年 3 月 23 日 位相的探测方法 位相的动态探测技术： 移相干涉术、外差干涉术、锁相干涉术； 位相的静态检测技术： 条纹法、 FFT 法、空域移相法 参考文献： 苏大图等，《光学测试技术》，北京理工大学出版社， 1996 年 苏大图等，《光学测量与像质鉴定》，北京理工大学出版社， 1988 年 J.C. Wyant, OPTI513, Chapter 5 D. Malacara, Interferogram Analysis for Optical Testing, Marcel Dekker, Inc. 1998 移相干涉术 ? ? ) ( ) , ( cos ) , ( ) , ( ) , , ( t y x y x I y x I t y x I a d ? ? ? ? ? I d (x ， y) - 干涉场的直流光强分布； Ia(x ， y) - 干涉场的交流光强分布； φ(x ， y) - 被测波面与参考波面的相 位差分布； δ (t) - 两支干涉光路中的可变相位 正弦信号的位相探测 ? ? ? ? ? ? ? ? cos ) ( b a I 不失一般性，对于空间一点，干涉信号的强度随参考 位相的变化为： 我们的目的是求出位相 ? ，展开上式 ? ? ? sin cos ) ( 2 1 a a a I ? ? ? 其中 a 1 =b cos ? ， a 2 =b sin ? (*) (*) 式为关于变量 a 、 a 1 、 a 2 的三元一次方程。使用最 小二乘法，可以求出 a 1 、 a 2 ，从而得出位相 ? 最小二乘法求解 3 ,..., 2 , 1 ), ( ? ? ? N N i t i i ? ? 取 ? ? Min a a a I N i i i i ? ? ? ? ? ? 2 1 2 1 sin cos ? ? 根据最小二乘法原理，有 ) ( ) ( 1 2 1 i i B A a a a ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 得 求解位相 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? i i i i i i i i i i i N A ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 2 2 sin sin cos sin sin cos cos cos sin cos )