气体传感器 讲解概要.ppt

气敏传感器 13.1 概述 ? 13.1.1 ? 1. 产生原因 : ? 为了确保安全，需对各种可燃性气体、有毒性气体进行检测。目前 实用气体方法很多，其中接触燃烧法和用半导体气敏传感器检测法 具有使用方便、费用低等特点 。 ? 2. 发展过程 : 半导体气敏元件是 60 年代初期研制成功的，最先研制的是 SnO 2 薄膜元 件。它是利用加热条件下 SnO 2 薄膜电阻随接触的可燃性气体浓度增 加而下降，实现对可燃性气体检测。 继而又发现在 SnO 2 烧结体中添加 Pt 或 pd 等贵重金属可提高灵敏度。 1968 年诞生了商品半导体气敏元件，其后，其它材料的半导体气敏 元件也相继投放市场。 3. 常用的气敏元件 : SnO 2 半导体气敏元件，目前以 TGS 型和 QM-N5 型气敏元件为主 . ? ? 13.1.2 SnO 2 半导体气敏元件特点 ? （ 1 ）气敏元件阻值随气体浓度变化关系为指数变化关 系。因此，非常适用于微量低浓度气体的检测。 ? （ 2 ） SnO 2 材料的物理、化学稳定性较好，与其它类型 气敏元件（如接触燃烧式气敏元件）相比， SnO 2 气敏元 件寿命长、稳定性好、耐腐蚀性强。 ? （ 3 ） SnO 2 气敏元件对气体检测是可逆的，而且吸附、 脱附时间短，可连续长时间使用。 ? （ 4 ）元件结构简单，成本低，可靠性较高，机械性能 良好。 ? （ 5 ）对气体检测不需要复杂的处理设备。可将待检测 气体浓度可通直接转变为电信号 , 信号处理电路简单。 ? 13.1.3 SnO 2 的基本性质 ? 1.SnO 2 物理性质 : ? SnO 2 是一种白色粉末，密度 为 6.16-7.02g/cm 3 ， 熔 点 为 1127 ℃ ，在更主温度下才能分 解，沸点高于 1900 ℃ 的金属气 化物。 SnO 2 不溶于水，能溶于 热强酸和碱。 ? 2.SnO 2 晶体结构 : ? 是金红石型结构，具有正方晶 系对称，其晶胞为体心正交平 行六面体，体心和顶角由锡离 子占据。其晶胞结构如图 10- 16 所 示 ， 晶 格 常 数 为 a=0.475nm ， c=0.319nm 。 ? 13.1.4 SnO 2 的气敏效应 ? 1. 经实验发现，多晶 SnO 2 对多种气体具有气敏特性。 2. 多孔型 SnO 2 半导体材料， 其电导率随接触的气体种 类而变化。 一般吸附还原 性气体时电导率升高。而 吸附氧化性气体时其电导 率降低。 这种阻值变化情 况如图 10-17 所示。 13.1.5 影响 SnO 2 气敏效应的主要因素 ? 1 ） SnO 2 结构组成对气敏效应的影响 SnO 2 具有金红石型晶体结构，用于制作气敏元件的 SnO 2 ，一般都 是偏离化学计量比的，在 SnO 2 中有氧空位或锡间隙原子。这种 结构缺陷直接影响气敏器件特征。一般地说， S nO 2 中氧空位多， 气敏效应明显。 ? （ 2 ） SnO 2 中添加物对气敏效应的影响 实验证明， S nO 2 中的添加物质，对其气敏效应有明显影响。 ? 表 10-2 列出了具有不同添加物质的 SnO 2 气敏元件的气敏效应。 ? （ 3 ）烧结温度和加热温度对气敏效应的影响 实验证明， 制作元件的烧结温度和元件工作时的加热温度，对 其气敏性能有明显影响 。因此，利用元件这一特性可进行选择 检测。 ? 13.1.6 表 10-2 添加物对 SnO 2 气敏效应的影响 添加物质 检测气体 使用温度（ ℃ ） PdO,Pd CO ， C 3 H 8 酒精 200 ～ 300 Pd,Pt 过渡金属 CO ， C 3 H 8 200 ～ 300 PdCI 2 SbCI 3 CH 4 ， C 3 H 8 , CO 200 ～ 300 Sb 2 O 3 ,TiO 2 TIO 3 250 ～ 300 V 2 O 5 ， Cu 250 ～ 400 稀土类 酒精系可燃性气体 过渡金属 还原性气体 250 ～ 300 Sb 2 O