技术资料用词解说.PDF

技术资料/用词解说 1. 关于用途 力，通过调整阀，多余的压力会从出口侧排出，以保持一定的 压力。 【工艺气体】 在半导体和太阳能电池等的制造工艺中，晶片处理等所使用的 【隔膜阀】 惰性气体和特殊气体等的总称。 由于金属膜片的上下动作，进行流路的开闭，作为气体的切断 阀使用。 【特殊气体】 由于膜片为圆顶型且有弹性，接气体部上没有弹簧，另外，驱 特殊气体，主要是用气体钢瓶供给的气体的总称，表示这些气 动部也用膜片与接气体部隔离。所以流路的死区小，是难以产 体是具有毒性、可燃性、阻燃性、不燃性、自燃性、腐蚀性的 生微粒的构造。 性质。 【LOTO】 【大宗气体】 就是上锁贴标的记号，在工厂为保护作业者的安全时使用。 指在工厂，被大量消耗的氮气和氩气等气体、像液态氮这样的 所谓上锁，指装置上供给的气体的流动被切断，用不能作业的 液化气被搬运、用蒸发器气化供给。 键等固定，所谓贴标指在操作元件上用的安装警告标记，以防 【高纯度工艺气体用】 止由于误操作等引起的事故。 用于半导体产业等要求非常高的洁净度的气体供给。阀体材质 【清除通口】 使用SUS316L二次熔练或SUS316L ，有接气体部的电解抛光 进口侧或出口侧配管通口上焊接的清除用的通口，在配管施工 处理和外部金属密封等特长。 时和维修时，在阀关闭情况下，用作清除的用途。 【一般气体用】 【单向阀】 用于激光加工和分析、医疗、焊接等不要求洁净度高的气体供 由于流体的背压，可防止逆流的动作。AP64 系列内部可动件 给。阀体材质可选择SUS316或黄铜。 仅有O形圈的简单构造，没有阀芯及弹簧的构造，没有零件的 【一次侧高压用】 振动和颤振等，不会产生微粒，不用担心下游侧的压力变动。 在气瓶柜和钢瓶总管等上，让钢瓶压减压至气路压所使用的元 【真空发生器】 件。 让气体从孔口高速喷射，孔口周围的流体被吸引，利用其压力 【气路用】 下降的现象而产生真空的元件。 更换钢瓶时，用于排出配管中残余不要的气体等。 分配箱(VMB)等的气体分配盒和装置等，被设置在一次侧高压 AP71 ，AP72系列为装有阀和单向阀功能的组件型。 用减压阀的下游侧，用于气路压压力调整用途的元件。 【大宗气体用】 【常泄功能】 AP71 ，AP72系列，即使阀关闭，通过孔口一定流量的N2清除 大宗气体和BSGS(大宗特殊气体系统)等，面向大量气体消耗 气体在排气气路流动的构造，排气气路要求经常保持有惰性状 的气路的元件。 态的场合是有效的。 【负压调整用】 在低蒸气压气体等的使用时，用于减压阀的出口侧为负压的元 【流量开关】