真空教育资料1[文字可编辑].ppt

SHANGHAI AVIC OPTOELECTRONICS CO., LTD. ４－６．真空计的用途分类 欲进行真空测定，须根据测定范围、精度来选择真空计。 真空计种类 种类 误差 隔膜真空 计（ C M ） 数％ 热真空计 １ ０ ％以上 热电偶真空计（ TC ） １ ０ ％以上 彭 宁式真空计 １ ０ ％以上 电离真空计 1% １ ～１ ０ 利用磁 场中放电产生的 离子电流 １ ０ ～１ ０ 利用 热电子对残留气体 的电离作用 １ ０ ～１ ０ 利用 气体分子的热传导 １ ０ ～１ ０ 利用 气体分子的热传导 测定范围（ Pa ） 原理 １ ０ ～１ ０ 利用 压力差引起的弹性 变形 ３ ４ ２ -2 -1 -1 -4 -1 -8 SHANGHAI AVIC OPTOELECTRONICS CO., LTD. ５．传导性与排气时间 ５－１．传导性 设定传导性为 Ｃ（ｍ ３ ／ｓｅｃ）、出口或管道两端的压力为Ｐ １ 、Ｐ ０ （Ｐａ）此 间流过气体的流量为 Ｑ ，则 Ｑ＝Ｃ（Ｐ １ －Ｐ ０ ）（Ｐａ . ｍ ３ ／ｓｅｃ） 另外如上图的排气系统 , 腔体吸气口的排气速度Ｓ １ 可用下述公式求得 : Ｃ Ｑ 腔体 泵 Ｐ 1 Ｐ 0 Ｓ 1 Ｓ 0 １ １ １ ＝ ＋ Ｓ １ Ｃ Ｓ ０ 泵 SHANGHAI AVIC OPTOELECTRONICS CO., LTD. ５－２．传导性的合成 传导性依下列方法合成计算 。 粘性流与分子流的传导性是不同的。 →（例）平均圧力 Ｐ、２０℃的空气通过长 ｌ（ｍ）、直径 ｄ（ｍ）的圆形配管 时 各种形状配管的传导性计算方法请参照「真空手册」 １ １ １ １ － ＝ － ＋ － ＋ － Ｃ Ｃ １ Ｃ ２ C ３ 腔体 Ｃ １ Ｃ ２ Ｃ ３ Ｃ＝Ｃ １ ＋Ｃ ２ ＋Ｃ ３ Ｃ １ Ｃ ３ Ｃ ２ 腔体 ｄ ４ Ｃ＝１３４９－Ｐ （ｍ ３ ／ｓｅｃ） ｌ 粘性流 ｄ ３ Ｃ＝１２１－ （ｍ ３ ／ｓｅｃ） ｌ 分子流 上海中航光电子有限公司 真空教育资料 2013.8 SHANGHAI AVIC OPTOELECTRONICS CO., LTD. １．真空基础 １－１ 何谓真空 １－２ 单位 ２．真空用语 ２－１ 共通用語 ２－２ 泵相关用语 ２－３ 真空計相关用语 ２－４ 部品相关用语 ２－５ 技术相关用语 ３．真空泵 ３－１ 泵的 体系 ３－２干 泵 ３－３ 机械升压泵 ３－４ 涡轮分子泵 ３－５ 冷泵 ４．真空計 ４－１ 真空計的种类 ４－２ 热电偶气压计 ４－３ 热压力计（皮拉尼压力计） ４－４ 隔膜真空計 ４－５ 电离真空計 ４－６ 真空計的用途分类 ５．传导性与排气时间 ５－１ 传导性 ５－２传导性的合成 ５－３ 排气时间的计算 ５－４ 真空容器的平衡圧力 ６．泄露与气体释出 ６－１ 泄露 ６－２ 气体释出 ６－３ 排气曲线 ７．真空的判断 ７－１ 泄露试验 ７－２ 氦气检漏仪 ７－３ 四重极质量分析计 ７－４ 加高法 SHANGHAI AVIC OPTOELECTRONICS CO., LTD. １．真空基础 １－１． 何谓真空 真空是指低于外界压力的容器内的压力状态。 （低于 1 大气压的压力状态） 大気圧～１０ －３ Ｔｏｒｒ（１．３×１０ －１ Ｐａ）→粘性流 ＜１０ －３ Ｔｏｒｒ（１．３×１０ －１ Ｐａ）→分子流 以下是真空利用范围及使用实例。 真空度 目的 Ｐａ Ｔｏｒｒ 使用事例 压力差 １０ ５ ～１０ ３ ７６０ ～１０ 真空 叉 、 除尘机 去 除 有 害 成分 １０ ３ ～１０ －３ １０ ～１０ －５ 真空 干燥 避免冲突 １ ～１０ －５ １０ －２ ～１０ －７ 电子显微镜 、真空 蒸发 持续放电 １０ ２ ～１０ －３ １ ～１０ －５ 溅射、等离子刻蚀 真空使用事例 SHANGHAI AVIC OPTOELECTRONICS CO., LTD. 压力 受 分子の密度 、促使分子移动的能量 （热能） 影响。 圧力 ＝ 分子密度（数） ｘ 分子移動能量 ( 熱 ) 由此可见，制造真空有两种方法 ? 减少分子数的方法 ? 去除分子移動能量的方法 真空创造方法 SHANGHAI AVIC OPTOELECTRONICS CO., LTD. Pa Torr(mmHg) bar kg/cm2 psi atm mmH2O 1 ７．５０ × １０ -3 １０ -5 １．０２ × １０ -5 １．４５ × １０ -4 ９．８７ × １０ -6 １．０２ × １０ -1 １３３．３２ 1 １