多层膜单级衍射光栅的设计与表征.pdf

多 膜单 衍射光栅的设计与表征 层 级   摘 要 单级衍射光栅 有保留 ０ 级和共 土 １ 级的衍射特性， 能够有效地抑制高 衍射。 具 轭 阶 这 产生纯 光 的衍 激光 子体 Ｘ 具 重要的应用 。 然 种 净 谱 射特性在 等离 射线诊断中 有 价值 透 量 Ｘ 量 数 ｋｅｖ 量 时， 由 Ｘ 射线的穿 性随着其能 增加 ， 当 射 射 的能 达到 级 于 而 入 线 而 、 ， 能 Ｘ 射 的偏转 分光能力 ， 就 致 变强 传统的透射式单级衍射光栅对 个 段 线 下降 这 导 这 ０ １ 效 。 近年来， 栅的 了大部分的 射光都集中在 级， 从而影响了 级的衍射 率 多层 光 衍 膜 Ｘ 。 合 膜 Ｘ 线的高反 出 解决了光栅在能量较高的 射线中应用 的 问题 通过结 多层 对 射 现 ， 够 入 Ｘ 额 １ 。 射率 光栅的分光能力 多层膜光栅能 对 射的 线提 高 的 级衍射效率 以及 射 供 一 然 ， 在多 膜光栅产生的光谱中存在着 系列 的高阶衍 ， 多层膜结构在增强 １ 级衍 而 层 射 ， 地 。 射效率 的 时 可避免 使高阶衍射的衍射效率也得到增强 同 不 － ， 正 的结构 种多 膜单级衍射光栅 命名为准 本论文根据准 弦单