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半导体生产线建立过程及问题处理
The Key Issues Involving Constructing an IC Fabrication Line
建一个新工厂意味着时间、金钱和公司资源上的巨大投入。整个公司的成功与否有可能取决于这个新工厂的投资回报率（ROI）。要实现ROI的最大化，需在多个因素之间进行权衡，从最初的工厂设计到后来的生产上量阶段。 总的说来，工厂规划和建设始于一般性问题，然后才是具体细节。在开始阶段，设计人员必须了解这家工厂每个月将生产多少晶圆片、这些晶圆片的尺寸是多少,以及采用什么设计规则和工艺技术。但是，生产量、晶圆片尺寸和工艺技术的最佳组合取决于工厂开始生产时的
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