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asmartsingle-chipmicro-hotplate-basedgassensorsystemincmos-technology-外文文献_本科论文.docxVIP

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  • 2020-10-04 发布于天津
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asmartsingle-chipmicro-hotplate-basedgassensorsystemincmos-technology-外文文献_本科论文.docx

    原文卩打口召画询卩打口召画询丹

    原文 A Smart Single-Chip Micro-Hotplate-Based Gas Sensor System in CMOS-Technology Abstract This paper presents a monolithic chemical gas sensor system fabricated in industrial CMOS- technology combined with post-CMOS micromachining. The system comprises metal -oxide-covered (SnO2) micro-hotplates and

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