激光器械与维护 灯泵浦YAG激光器调试、操作方法 灯泵浦YAG激光器调试、操作方法.ppt

光机电应用技术国家教学资源库 灯泵浦YAG激光器调试、操作方法 教学目标 一、掌握灯泵浦YAG激光器的调试 二、掌握灯泵浦YAG激光器的操作方法 教学内容 一、灯泵浦YAG激光器的调试方法 二、灯泵浦YAG激光器的操作方法 一、灯泵浦YAG激光器的调试 灯泵浦YAG激光器的调试主要包括基准光的调试、聚光腔的装配调试、光学谐振腔的调试、准直扩束系统的调试和导光聚焦系统的调试等。 1、基准光的调试：将两块调光板置于光具座上离半导体激光器校正装置一近一远处，因为两块调光板的中心孔位（图中十字叉丝处）即是光轴中心位，通过两点确定一条直线的原理校准半导体激光器，调整半导体激光器校正装置使红色的半导体指示激光从两块调光板的光阑小孔同时穿出，半导体激光器调好后即为标准指示光，做为光轴的基准。如果是对设备调试，也可以晶体轴线为光轴基准。 基准光的调试 聚光腔结构示意图 1.底板 2.氙灯3.灯压块4.盖板5.上腔体6.螺钉7.滤紫外管 8.下腔体9.挡板10.密封圈11.棒压块12.YAG晶体13.壳体 2、聚光腔的装配调试 2、聚光腔的装配调试 （1）灯管的装配： 氙灯安装时要检查左右两端对称居中，使氙灯左右伸出腔体两端长度一致。将灯压块的螺钉均匀扭好，起动内循环系统，确定灯压块处无渗水现象，安装氙灯过程完毕。 典型泵浦源氙灯示意图 2、聚光腔的装配调试 （2）晶体的装配：先将晶体棒套安装在晶体上，再将YAG晶体棒、隔圈、O型密封圈和晶体棒套沿晶体轴向轻轻装入，然后把晶体棒套压盖与YAG晶体棒套旋紧，YAG晶体棒两端各伸进晶体棒套6mm。最后小心将晶体棒套连同YAG晶体棒一起沿轴向轻轻装入聚光腔体，使两端伸出长度一致，将两端晶体棒压块的螺钉均匀扭好，起动内循环系统，检查晶体棒压块无渗漏水现象，安装晶体过程完毕。 2、聚光腔的装配调试 （3）聚光腔的调试：将装配好灯和晶体的聚光腔置于光具座上，开启红光指示，细微移动聚光腔，使得指示光从晶体的几何中心垂直通过，有必要时需要配合调节半导体激光器，最终确保指示光、晶体光轴和光窗三线合一。 半反镜的调试示意图 3、光学谐振腔的调试 （1）半反镜的调试： 将半反膜片架装上光具座导轨，调整安装位置使红色的半导体指示激光从半反膜片正中间穿过（通过膜片座小孔光阑确定半反膜片座的中心位置），调整半反膜片架的微调旋钮，将半反膜片对指示光的反射点调入半导体激光器前端的光阑小孔内，即出射光与反射光重合，锁紧半反膜片座与光具座导轨的固定螺丝。 全反镜的调试示意图 3、光学谐振腔的调试 （2）全反镜的调试：调试方法同半反镜相同，也将全反膜片对指示光的反射点调入半导体激光器前端的光阑小孔内。但是需要注意的是，当红色半导体激光指示光穿过半反膜片时，一部分透过去，一部分被半反膜片及全反膜片反射，反射光点会落在半导体激光器前端的光阑周围，干扰调试。 4、准直扩束系统的调试：要求入射光从扩束镜光孔中心进入，出射光从出光孔中心射出。在扩束镜筒上也有六个调节螺钉。如果扩束镜偏移量很大，无法达到上述状态，则按如下步骤进行调整： （1）通过调节后端的三个调节螺钉使激光从扩束镜筒前方出光孔正中心射出。 （2）通过调节前端的三个调节螺钉使红光反射光与红光同心。当调节达到要求时，可以清楚的看到由较大的几个同心圆环组成的返回光斑照在红光激光器白色的光栅上，并且与之同心。 另外，如果采用的是四维调整支架，需要上下左右调节配合平移实现调试。 5、导光聚焦系统的调试：利用聚焦镜调整光阑调节45o反射镜座，使指示光通过45o反射镜的反射光同时穿过聚焦镜调整光阑的两个调整光阑，确定聚焦镜与光轴同轴。然后安装喷嘴吹气机构，微调45o反射镜座，使指示光从喷嘴的正中心垂直出射最佳。最后将激光参数调到调光参数，打开激光开关，用转换片在聚焦镜下方较远位置观察光斑，微调半反膜片座及全反膜片座，直到光斑较圆，且激光能量分布均匀，激光与指示光同轴。 二、灯泵浦YAG激光器的操作方法 1、开机流程： （1）接通动力电源，打开制冷机组，循环一分钟。 （2）启动激光电源，预燃点灯，大约二分钟后，激光电源预燃成功， 设置电源参数。 （3）打开工作台驱动电源，编程并试运行，放置工件，定位， 设置好气体种类和气压等工艺参数，按下运行键，进行加工。 二、灯泵浦YAG激光器的操作方法 2、关机流程： （1）关闭驱动电源，关闭保护气。 （2）通过激光电源面板选择键选择 “OFF”，按确认键，大约一分钟后， 关闭激光电源，按“停机”按钮，最后拉下空气开关。 （3）循环一分钟后关