硅片生产工艺技术流程1.pdfVIP

. 顺大半导体发展有限公司太阳能用 硅单晶片生产技术 目 录 一、 硅片生产工艺中使用的主要原辅材料 1、拉制单晶用的原辅材料，设备和部件： 2、供硅片生产用的原辅材料，设备和部件： 二、 硅片生产工艺技术 1、硅单晶生产部 （1）、腐蚀清洗工序生产工艺技术 对处理后原材料质量要求 （2）、腐蚀清洗生产工艺流程 ① 多晶硅块料，复拉料和头，尾料处理工艺流程 ② 边皮料酸碱清洗处理工艺流程 ③ 埚底料酸清洗处理工艺流程 ④ 废片的清洗处理工艺流程 （3 ）、硅单晶生长工艺技术 （4 ）、单晶生长中的必备条件和要求 ① 单晶炉 ② 配料与掺杂 （5），单晶生长工艺参数选择 （6 ）、质量目标： （7）、硅单晶生长工艺流程 .