半导体厂务系统介绍.pdfVIP

Cleanroom System [ 洁净室系统 ] a, 内装修工程 :(高架地板工程、洁净室隔墙板系统、铝合金龙骨吊顶 /ceiling grid 、无 尘涂装、环氧地坪等 )、压差控制系统、 ESD 防静电等 ; b,循环空调系统 :(包括部分供热与通风系统 , 比如 MAU/OAC 、AHU 、FFU 、DDC 、 FCU 、粗、中、高、超高过滤器、化学过滤器 etc. 、送气风机、排气风机 etc.); c,FOUNDATION: 防震机座、粉尘监测智能系统 /DMS 系统、风淋室、传递窗、层流罩、洁 净工作台、洁净洗手器、洁净衣架、洁净电梯、正压洁净楼梯间系统、化学品储存冷库和 压缩机 etc. Mechanical System [ 机械系统 ] 中央动力 ,Central utility:Mechenical( 热水、冷冻水、软水、工艺设备冷却水 PCW 、 生产上水、自来水﹑饮用水、一般蒸汽和洁净蒸汽等管路供应系统 ;锅炉、冷冻机、冷却塔、 空压机等厂务设施 ) Specialty Gas and Bulk Gas [ 特殊气体和大宗气体 ] a,Bulk Gas:GAS YARD 气站 ,CQC(N2/H2/O2/Ar/He/ 天然气 ) 【包括普通和超纯 / 精制 气体】 ,压缩空气 (CDA)-- 有些 FAB 还将机台用 CDA 和厂务设备用 CDA 供应系统分开 ,呼 吸空气供应系统等 ; b,Specialty Gas System ( 部分特性有重迭 ): (1) 易燃性气体 (Flammable Gas) (2) 毒性气体 (Toxic Gas) (3)腐蚀性气体 (Corrosive Gas) (4) 惰性气体 (Inert Gas) (5) 氧化性气体 (Oxide Gas) (6)低压 / 保温气体 (Heat G as) Water Treatment System [ 水处理系统 ] a, 超纯水供应系统、热 / 温纯水供应系统、一次纯水 (RO 水 )供应系统 etc. b,工艺废水处理 (酸、碱、含氟排水、 slurry/cmp 、研磨排液、温排水、纯水回收、一 般排水、 TMAH 显影液、 H2O2 、硫酸排液、磷酸排液、 NH3 排液 etc. ) c, 办公用给排水系统 :饮用水供应、自来水供应、生活污水处理、雨水排放系统 etc Exhaust System[ 工艺排气系统 ] a, 工厂 SCRUBBER: 酸、碱、有机 VOC 、粉尘、一般排气 etc.[ 有些 FAB 还包括了紧 急排烟 /事故排风系统 ] b,LOCAL SCRUBBER( 一般附属于工艺设备 ): 依其原理大概可分成下列几类 (1) 电热水 洗式 ; (2) 燃烧水洗式 (3) 填充水洗式 ;(4) 干式吸附式。 Chemical Dispensing System[ 化学品供应系统 ] 包括化学品供应系统和化学品回收系统 ,具体使用的化学品种类根据每个 FAB 产品的 不同而不同 : a,Chemical Dispensing System 化学品供应系统 酸性 碱性 有机溶剂 氧化腐蚀性 b,化学品回收系统 :光刻胶 resist 、STRIPPER 剥离液 (EKC 、SST-A2 、ORP 、N311 、 T106 、PGMEA 、PGME etc.) 、异丙醇、硫酸废液、硫酸铜废液回收等 Vacuu