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- 2020-10-15 发布于天津
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一厂设备科年上半年工作总结一设备各项指标完成情况设备故障时间统计设备主要故障原因单位一厂汇总外延芯片前段芯片后段动力能源上半年原因时间原因时间原因时间原因时间原因时间原因烤炉时间原因制备时间原因时间原因高温清洗机时间高温清洗剂时间时间时间时间时间时间时间时间时间时间芯片时间外延组常分选马达异常等时间压力低下机设备漏水反应室下端焊接处漏反应室下端焊接处漏电脑异常对其重新启动由于湿度过大导致跳电宕机加热控制器出错加热控制器出错原因上下轴移动告警原因石英提篮摔碎原因熄火原因槽石英槽破裂原因线条粗粘版原
一厂设备科2013年上半年工作总结
一、设备各项指标完成情况
1、设备故障时间统计
2、设备主要故障原因
单位：h
一厂汇 总
外延
芯片前段
芯片后段
动力能源
上半年
原因:
1572.5
40
448
1084.5
0.0
1.23 MOCVD-I 时间
:1H
原因:
3.31 MOCVD-I 时间
4h
原因：
5.11 M-k465 时间：
15.5h
原因：
5.12 M-k465 时间：
8.5h
原因:
5.29 MOCVD- N 时间
:2h
原因：
6.22烤炉D时间：5h
原因:
《制备》：
3.4-5 P ECVD03 时间
:36h
原因
3.6-11 P ECVD
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