电涡流位移传感器的原理.pdf

电涡流位移传感器的工作原理： 电涡流传感器能静态和动态地非接触、高线性度、高分辨力地测 量被测金属导体距探头表面距离。它是一种非接触的线性化计量工 具。电涡流传感器能准确测量被测体(必须是金属导体)与探头端面之 间静态和动态的相对位移变化。 在高速旋转机械和往复式运动机 械状态分析，振动研究、分析测 量中，对非接触的高精度振动、 位移信号，能连续准确地采集到 转子振动状态的多种参数。如轴 的径向振动、振幅以及轴向位置。 电涡流传感器以其长期工作可靠 性好、测量范围宽、灵敏度高、分辨率高等优点，在大型旋转机械状 态的在线监测与故障诊断中得到广泛应用。 从转子动力学、轴承学的理论上分析，大型旋转机械的运动状态， 主要取决于其核心—转轴，而电涡流传感器，能直接非接触测量转轴 的状态，对诸如转子的不平衡、不对中、轴承磨损、轴裂纹及发生摩 擦等机械问题的早期判定，可提供关键的信息。 根据法拉第电磁感应原理，块状金属导体置于变化的磁场中 或在磁场中作切割磁力线运动时，导体内将产生呈涡旋状的感应电 流，此电流叫电涡流，以上现象称为电涡流效应。而根据电涡流效应 制成的传感器称为电涡流式传感器。 1 前置器中高频振荡电流通过延伸电缆流入探头线圈， 在探头头部的线圈中 产生交变的磁场。当被测金属体靠近这一磁场，则在此金属表面产生 感应电流，与此同时该电涡流场也产生一个方向与头部线圈方向相反 的交变磁场，由于其反作用，使头部线圈高频电流的幅度和相位得到 改变(线圈的有效阻抗)，这一变化与金属体磁导率、电导率、线圈的 几何形状、几何尺寸、电流频率以及头部线圈到金属导体表面的距离 等参数有关。通常假定金属导体材质均匀且性能是线性和各项同性， 则线圈和金属导体系统的物理性质可由金属导体的电导率 б、磁导 率 ξ、尺寸因子 τ、头部体线圈与金属导体表面的距离D、电流强 度 I 和频率 ω参数来描述。则线圈特征阻抗可用 Z=F(τ, ξ, б, D, I, ω)函数来表示。通常我们能做到控制 τ, ξ, б, I, ω这几个 参数在一定范围内不变，则线圈的特征阻抗 Z 就成为距离 D 的单值函 数，虽然它整个函数是一非线性的，其函数特征为 “S”型曲线，但 可以选取它近似为线性的一段。于此，通过前置器电子线路的处理， 将线圈阻抗 Z 的变化，即头部体线圈与金属导体的距离D 的变化转化 成电压或电流的变化。输出信号的大小随探头到被测体表面之间的间 2 距而变化，电涡流传感器就是根据这一原理实现对金属物体的位移、 振动等参数的测量。 其工作过程是：当被测金属与探 头之间的距离发生 变化时，探头中线圈的 Q 值也发生变化，Q 值的变化引起振荡电压幅 度的变化，而这个随距离变化的振荡电压经过检波、滤波、线性补偿、 放大归一处理转化成电压 (电流)变化，最终完成机械位移 (间隙)转换 成电压(电流)。由上所述，电涡流传感器工作系统中被测体可看作传 感器系统的一半，即一个电涡流位移传感器的性能与被测体有关。 按照电涡流在导体内的贯穿情况，此传感器可分为高频反射 式和低频透射式两类，但从基本工作原理上来说仍是相似的。电涡流 式传感器最大的特点是能对位移、厚度、表面温度、速度、 应力、 材料损伤等进行非接触式连续测量，另外还具有体积小，灵敏度高， 频率响应宽等特点，应用极其广泛。 典型应用： 电涡流传感器系统广泛应用于电力、石油、化工、冶金等行业和 一些科研单位。对汽轮机、水轮机、鼓风机、压缩机、空分机、齿轮 箱、大型冷却泵等大型旋转机械轴的径向振动、轴向位移、键相器、 3 轴转速、胀差、偏心、以及转子动力学研究和零件尺寸检验等进行在 线测量和保护。 轴向位移测量 对于许多旋转机械，包括蒸汽轮机、燃汽轮机、水轮机、离 心式和轴流式压缩机、离心泵等，轴向位移是一个十分重要的信号， 过大的轴向位移将会引起过大的机构损坏。轴向位移的测量，可以指 示旋转部件与固定部件之间的轴向间隙或相对