传感器原理及应用第二章.ppt

传感器技术 主讲：吴秋宁 第 二 章 力传感器 第三节 电容式传感器 电容器是电子技术的三大类无源元件 ( 电阻、电感和电 容 ) 之一，利用电容器的原理，将非电量转换成电容量 , 进而实现非电量到电量的转化的器件或装置，称为电容 式传感器，它实质上是一个具有可变参数的电容器。 优点 ：测量范围大、灵敏度高、结构简单、适应性强、 动态响应时间短、易实现非接触测量等。 由于材料、工艺，特别是测量电路及半导体集成技术等 方面已达到了相当高的水平，因此寄生电容的影响得到 较好地解决，使电容式传感器的优点得以充分发挥。 应用 ：压力、位移、厚度、加速度、液位、物位、湿度 和成分含量等测量之中。 一、 工作原理与类型 （一）工作原理 原理：被测非电量转换为电容量的变化 A δ ? ? A C ? ? 介电常数 ε 电容式传感器结构图 种类：变极距 δ 、变面积 A 、变介质 ε δ 、 A 或 ε 发生变化时，都会引起电容的变化。 （二） 类型 三种基本类型 ： ? 变极距 ( 变间隙 )( δ ) 型 ? 变面积型 ( A ) 型 ? 变介电常数 ( ε ) 型 表 5-1 列出了电容式传感器的三种基本结构形式。 ? 位移 ：线位移和角位移两种。