原创力文档- 1、本文档共5页，其中可免费阅读2页，需付费100金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
双频激光干涉仪测量激光干涉仪测长原理典型的激光干涉仪由激光器偏振分光镜测量反射镜参考反射镜光电检测器检偏器和三个入波片和组成激光为线偏振光经偏振分光镜分为和两线偏振光当两干涉臂中入波片快轴或慢轴与轴夹角相等且为度时两束光通过入波片后均成为圆偏振光反射后再次通过入波片又转换为线偏振光但其振动方向相对原振动方向旋转了度且由于两干涉臂光程产生了相位差根据公式入式中入为激光波长干涉光路的作用是把位移转变为合成光振动方向的旋转角进而转换成光电信号的相位信号处理器的作用就是测量出从而计算出位移垂直度的测量工
双频激光干涉仪测量
激光干涉仪测长原理
典型的激光干涉仪由激光器 L、偏振分光镜PBS测量反射镜 M参考反射镜R、光电 检测器D检偏器P和三个入14波片Q1、Q2和Q3组成。激光为线偏振光，经偏振分光镜 分为E1和E2两线偏振光。当两干涉臂中 入/4波片快轴（或慢轴）与X轴夹角相等且为45 度时，两束光通过 入/4波片后均成为圆偏振光，反射后再次通过 入/4波片，又转换为线
偏振光，但其振动方向相对原振动方向旋转了 90度，且由于两干涉臂光程产生了相位差
0 ,根据公式：
0 =2 0 = 0 =4n L/ 入
式中：入为激光波长，干涉光路的作用是把位移 L转变为合成光振动方向的旋转角
0，进
文档评论（0）