离子敏场效应晶体管ISFET.pptVIP

* 晶体沿Y 轴方向受力FY作用下的情况与FX相似。当FY＞0时，晶体的形变与图（b）相似；当FY＜0时，则与图（c）相似。 * 由此可见，晶体沿Y 轴方向受力作用时，同样在X方向产生正压电效应，在Y、Z方向则不产生压电效应，这就是为什么称 X 轴为电轴，称 Y 轴为机械轴。 * 晶体沿Z 轴方向受力FZ的作用下，因为晶体沿X方向和沿Y方向所产生的应变完全相同，所以，正、负电荷中心保持重合，电偶极矩矢量和等于零。这就表明，石英晶体沿Z (即光轴)方向受力FZ作用时，晶体不产生压电效应，这就是为什么称Z 轴为光轴。 * FX FX + + + + － － － － － － － － + + + + (a) (b) X X + + + + + + + + － － － － － － － － (c) (d) FY FY X X 石英晶体压电效应效果图 (a)、(b)为纵向压电效应效果 (c)、(d)为横向压电效应效果 * 从石英晶体上切下一片平行六面体——晶体切片，使它的晶面分别平行于X、Y、Z轴，如图。在垂直X轴方向两面用真空镀膜或沉积法得到电极面，接上引线即构成压电传感器。 z x y o x z y o b z o x a c y ( a ) ( b ) ( c ) * 4.3 压电晶体谐