声表面波传感器及其接口设计的研究.doc

声表面波传感器及其接口设计的研究 声表面波技术已被应用到电子通讯、无线遥感和传感检测领域 , 作为一种多 功能传感器以其灵敏度高、 体积小、功耗低等优点广泛地应用于众多物理量、 化 学量和生物量的灵敏检测 , 声表面波传感检测技术有着良好的应用前景。 本 文从声表面波的声学原理入手 , 简要介绍了声表面波传感器的传感机理 , 及其制 作的相关材料和工艺 , 重点从 δ函数模型、 等效电路模型和耦合模模型 （COM）入 手分析研究了声表面波叉指换能器的建模仿真 , 声表面波传感器的界面扰动效应 理论 , 在以上理论研究的基础上 , 设计制作了以 36°-YX LiTaOsub3/sub单晶 为基底的 52 MHz和 104 MHz双通道水平剪切声表面波（ SH-SAW）传感器 , 详细论 述了声表面波传感器的高频接口设计技术。 最后 , 以 Agilent 4395A 网络分析仪为测试工具 , 通过实验证明 , 本文设计的 声表面波传感器及其接口电路的设计均达到了预期的效果。 将声表面波传感器及 其接口设计集成一体的设计方法在国内达到先进的水平 , 这种设计使得传感器和 接口电路工作性能稳定良好。 这些工作为以后要进一步开展的声表面波传感器频率稳定性的研究和 声表面波传感器的推广应用研究奠定了扎实的基础。