传感器与检测技术 力学量传感器 4-2 压电式传感器.pptxVIP

第4章 力学量传感器;4.2 压电式传感器;4.2.1 压电效应; 1. 石英晶体的压电效应 石英晶体的压电效应早在1880年即已被发现。石英晶体的化学成分是SiO2，是单晶结构，理想形状六角锥体，如图4.7(a)所示。石英晶体是各向异性材料，不同晶向具有各异的物理特性。用X、Y、Z轴来描述。 Z轴：是通过锥顶端的轴线，是纵向轴，称为光轴，沿该方向受力不会产生压电效应。 X轴：经过六棱柱的棱线并垂直于Z轴的轴为X轴，称为电轴（压电效应只在该轴的两个表面产生电荷集聚），沿该方向受力产生的压电效应称为“纵向压电效应”。 Y轴：与X、Z轴同时垂直的轴为Y轴，称为机械轴（该方向只产生机械变形，不会出现电荷集聚）。沿该方向受力产生的压电效应称为“横向压电效应”。; 2. 石英晶体的压电系数和表面电荷的计算 （1）沿x轴方向施加作用力。晶体将产生变形，并产生极化现象。在晶体的线性弹性范围内，垂直于x轴表面上产生的极化强度Px与应力成正比，即  压电系数的下标mn的意义为：m表示产生电荷的轴向，n表示施加作用力的轴向。对于石英晶体，下标1对应x轴，下标2对应y轴，下标3对应z轴。而极化强度Px等于晶片表面的电荷密度，即 ; （2）沿y轴方向施加作用力。仍然在垂直于与x轴得表面上出现电荷，其极性如右图所示。电荷大小为 　  由此可见，沿y轴方向的力作用于晶体时产生的电荷量大小qx与晶体切片的几何尺寸有关。在相同的作用力下，晶体切片的长度越长、厚度越薄，产生的电荷量越多，压电效应越明显。式中的“－”号说明沿y轴方向的压力（拉力）所产生的电荷极性与沿x轴方向的压力（拉力）所产生的电荷极性是相反的。;4.2.2 压电材料 常用的压电材料有压电晶体、压电陶瓷、压电高分子材料等。 1. 压电晶体（单晶体） （1）石英晶体（SiO2） 石英晶体是压电式传感器中常用的一种性能优良的压电材料。石英晶体即二氧化硅，它是一种天然晶体，不需要人工极化处理，也不会产生热释电效应???它的压电系数＝2.3×10-12C/N，其压电系数和介电常数具有良好的温度稳定性，在常温范围内，这两个参数几乎不随温度变化。当温度达到573℃（居里温度）时，石英晶体就会完全失去压电特性。石英晶体的熔点为1750℃，密度为2.65×103kg/m3，具有很大的机械强度和稳定的机械特性。除此之外，它还具有自振频率高、动态性能好、绝缘性能好、迟滞小、重复性好、线性范围宽等优点，所以曾被广泛应用。但由于它的压电系数比其他压电材料要低得多，因此也正逐渐被其他压电材料所替代。; （2）水溶性压电晶体 最早发现的水溶性压电晶体是酒石酸钾钠（NaKC4H4O6·4H2O），它具有很高的压电灵敏度，压电系数＝2.3×10-9C/N。但由于酒石酸钾钠易于受潮、机械强度低、电阻率低等缺点，使用受到很大限制，仅限于在室温(＜45℃)和湿度低的环境。 （3）铌酸锂压电晶体（LiNbO2） 一种无色或浅黄色的单晶体，其内部是多畴结构，为了使其具备压电效应，需要进行极化处理。其压电系数达8×10-11C/N，比石英晶体的压电系数大35倍左右，相对介电常数（εr=85）也比石英晶体高得多。由于是单晶体，其时间稳定性很好。它还是一种压电性能良好的电声换能材料，居里温度比石英晶体和压电陶瓷要高得多，可达1200℃，所以应用于耐高温的传感器时会有广泛的前景。在力学性能方面其各向异性很明显，与石英晶体相比很脆弱，而且热冲击性能很差，所以在加工装配和使用中必须小心谨慎，避免用力过猛和急冷急热。; 2. 压电陶瓷（多晶体） 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。其内部的晶粒有一定的极化方向，在无外电场作用下，晶粒杂乱分布，它们的极化效应被相互抵消，因此压电陶瓷此时呈中性，即原始的压电陶瓷不具有压电性质，如图4.9(a)所示。 当在陶瓷上施加外电场时，晶粒的极化方向发生转动，趋向于按外电场方向排列，从而使材料整体得到极化。外电场越强，极化程度越高，让外电场强度大到使材料的极化达到饱和程度，即所有晶粒的极化方向都与外电场的方向一致，此时，去掉外电场，材料整体的极化方向基本不变，即出现剩余极化，这时的材料就具有了压电特性，如图4.9(b)所示。; 3. 压电高分子材料 高分子材料属于有机分子半结晶或结晶聚合物，其压电效应较复杂，不仅要考虑晶格中均匀的内应变对压电效应的贡献，还要考虑高分子材料中作非均匀内应变所产生的各种高次效应以及同整个体系平均变形无关的电荷