硅基片上射频螺旋电感的建模与参数提取分析.pdfVIP

华东师范大学硕士学位论文 摘要 摘要 随着以集成电路为核心的信息产业的飞速发展，硅基射频集成电路也在迅速 崛起，它的优势主要在于低成本以及在片上系统的广泛应用。片上螺旋电感作为 芯片上的核心器件之一，由于其优越的性能，在各个射频模块中被广泛使用，如 低噪声放大器(LNA)、功率放大器(PA)、压控振荡器(VCO)和阻抗匹配电路等。 设计片上螺旋电感的难点，主要在于面积的小型化、品质因数的提高和高频段的 优化。如何设计出高性能、低成本和低功耗的片上螺旋电感是优化电路性能的关 键。本论文主要包括以下四章： 第一章介绍了片上螺旋电感的研究背景以及研究现状，并简要概括了文章的 结构体系。 第二章首先通过电磁仿真软件HFSS 设计了九款基于0.18 μmCMOS 工艺的 片上螺旋电感，通过螺旋电感本征电路模型的 Y 参数，获得本征电感值与片上 螺旋电感的品质因数，最后分析了片上螺旋电感的各个几何参量对于电感值与品 质因数的影响。 第三章首先介绍了三种常用片上螺旋电感的等效电路模型，包括单π模型、 π π 双 模型和T 模型。接着给出了一种改进的单 模型，该模型考虑了趋肤效应和 临近效应等寄生效应的影响，同时利用OPEN 与SHORT 测试结构相结合对片上 螺旋电感进行了去嵌，获得了片上螺旋电感的本征部分的测试数据。最后通过模 π 拟结果与测试结果进行对比分析，发现改进后的等效电路模型比传统单 模型更 加精准。 第四章主要对散射参数与矢量网络分析仪进行了介绍，并且详细描述了片上 螺旋电感在片测试系统平台的搭建，设备主要包括了 40GHz 的矢量网络分析 (Agilent 8363C) 、在片探针台(Cascade M150)和射频电缆，同时进行了在片校准 件的测试。 关键字：片上螺旋电感，几何参量，建模，参数提取，散射参数。 I 华东师范大学硕士学位论文 Abstract Abstract With the rapid development of the information industry whose core is Integrated Circuit (IC), Radio Frequency Integrated Circuit (RFIC) based on silicon is in rapid development. It has the advantages of low cost, low power and wide application in System On Chip (SOC). As one of the core devices on the chip, on-chip spiral inductor has been widely used in various RF modules, such as Low Noise Amplifier (LNA), Power Amplifier (PA), a Voltage Controlled Oscillator (VCO), the impedance matching circuit, etc. The difficulty of designing an on-chip spiral inductor is how to fabricate the inductor in the