电子束蒸发台操作流程图.docxVIP

TF500操作流程 操作安全 操作安全 警告 请遵守如下给出的安全说明并注意适当的防范措施。否则，可能导致人员伤亡 和设备损坏 ?在您操作任何部件之前请阅读所有相关的说明。 ? TF500的表面或部件可能很热或很冷。请不要触碰热的或冷的表面，比 如泵体，材料，夹具，真空腔体和连有石英加热并有其他排气工艺的部 件。 ?请保持所有配件柜处于闭锁状态。请不要把钥匙留在锁上。 ?在腔体打开的时候，电子枪挡板是可以转动的。操作员需注意，因为挡 板不留意的转动可能导致人员伤害并导致设备损坏。 22.1TF500 2 2.1 启动TF500 启动冷却水源。 启动压缩气体源 ap?n Shutt arrRp