薄膜的物理气相沉积Ⅰ蒸发法.pptVIP

第三章 薄膜制备技术-蒸发法;真空蒸发;二、真空蒸发的设备;二、真空蒸发的设备;二、真空蒸发的设备;三、汽化热和蒸汽压 ;物质的饱和蒸气压：在一定温度下，真空室内蒸发物质的蒸汽与固态或液态相平衡时所呈现的压力。 物质的饱和蒸气压随温度的上升而增大，一定的饱和蒸气压则对应着一定的温度。规定物质在饱和蒸气压为1.3Pa时的温度，称为该物质的蒸发温度。 ;;单位物质表面的质量蒸发速度: ; 1、元素的蒸汽压 克劳修斯-克莱普朗方程： 物质平衡蒸汽压P随温度的变化率为： ;lgP与1/T基本满足线性关系;图2.1 a 元素的平衡蒸汽压随温度的变化曲线 （点表示相应元素的熔点）;? 液相蒸发 对大多数金属，温度达到熔点时，其平衡气压低于10-1 Pa,需将物质加热到熔点以上 ? 固相升华 在熔点附近，固体的平衡蒸汽压已相对较高，如 Cr, Ti, Mo, Fe, Si等，可以直接利用由固态物质的升华，实现物质的气相沉积;2、化合物的蒸发 化合物蒸发出来的蒸气可能具有完全不同于其固态或液态的成分，各元素间将发生化合或分解过程： ; 3、金属合金的蒸发 金属合金的蒸发也会发生成分的偏离，但合金中原子间的结合力小于化合物中原子间的结合力，实际蒸发过程可视为各元素独立蒸发过程，可由热力学定律来描述： ;实际合金的