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赛瑞达扩散炉维护专业培训 售后服务部:宋威运 2011.12.19  致金泰新能源设备保障部 ●此文件详细描述了我公司扩散设备正确保养方法 以及设备人员在日常维护保养中需要特别注意的 事项,请详细阅读 ●应贵公司要求,扩散炉在工艺完成后会自动关闭 炉门,这就对设备维护保养提出了更高的要求, 因此特别制作此保养作业指导文件,请维护人员 严格按照保养流程操作,切不可大意马虎以免造 成较大损失。  设备培训内容 ●石英管正确安装 推拉舟例行保养 ●源温控制器使用维护 设备维护保养注意要点 常见工艺异常处理  石英管正确安装(一) 安装,拆卸石英管时需注意以下几点: ●石英制品是易碎品,要注意轻拿轻放 ●为防止污染,清洗后的石英管要立即使用缠绕膜 封口 为防止污染,操作时要戴无尘手套。 ●完成此项工作至少需要3人。  石英管正确拆卸(一) 因金泰设备石英管已经 安装完成,就先从如何正 确拆卸石英管讲起 ●设备人员接到工艺人员 通知清洗石英管后,需悬 挂相关标识,表示此管暂 炉体降温,拆卸SC桨。 加热炉的温度已冷却到 室温后,取下前门板,小 废气室  石英管正确拆卸(一) ●拆卸废液瓶,清理存积 的偏磷酸 ●抽取尾气管,断开内控 温热电偶的导线连接 抽取内控温热电偶与 TC管 拆卸不锈钢挡板及堵头 ●从炉口塞入工艺垫板, 抽出石英管。 随后进行石英管的清洗。  石英管正确安装(一) 设备人员将洗净好的石英管放入炉膛(炉膛内 事先装有工艺垫板),两人抬取石英管时,每 人负责看管一端,负责尾部者严禁直接用手抬尾 气管,以免该管发生断裂,抬石英管时将石英管 尾部的三根小管朝向净化台外侧,待石英管放进 炉膛后转动石英管直至石英管的两个尾气管朝下。  石英管正确安装(一) 安装石英管时注意保持尾部两根尾管在倾斜或 向上的位置,同时调整石英管口的位置避免尾管 碰到炉体,推到炉体尾部时,用手轻托石英管下 部,在管口轻推的力量下,顺势将石英管装入尾 部的保温棉圈内,轻旋石英管使石英管的两根尾 管处于同一水平面 随后安装前门板,小废气室并在缝隙和窟窿 中填充石英棉。  石英管安装图片(一) ●1尾管 2尾管 ●3工艺垫板(在拆卸,安 装石英管时使用,防止划 伤石英管) 左图为石英管刚推入时姿 态,右图为石英管旋转后 姿态位置  石英管安装简图(一) ●1.石英管 2.尾管 ●3.工艺垫板 4.尾管 石英管安装完成后,2和4 处于同一水平面,3需要 从炉体内抽出。 DIH0129