《现代材料测试技术》第五节X射线能谱分析.ppt

第五节 X射线能谱分析 一般的化学分析方法仅能得到分析试样的平均成分，而在电子显微镜上却可实现与微区形貌相对应的微区分析，因而是研究材料组织结构和元素分布状态的极为有用的分析方法。 微区成分分析可直接使用电子探针仪进行。它专门用于试样的成分分析，它要求试样表面必须是光滑的。但光滑的表面对试样的形貌观察不利，所以在材料科学中最为常用的是在扫描电镜上加装X射线能谱仪，这样既可进行形貌观察，又能实施成分分析。 能量色散谱仪简称能谱仪，是利用特征X射线能量不同来展谱而进行成分分析的仪器。 一、能谱仪的主要组成部分 由探针器、前置放大器、脉冲信号处理单元、模数转换器、多道分析器、微型计算机及显示记录系统组成，是一套较为复杂的电子仪器。组成结构见图2-93。 能谱仪图片 二、能谱仪的工作原理 由试样出射的具有各种能量的X光子相继经Be窗射入Si（Li）内，在1区产生电子一空穴对．每产生一对电子一空穴对，要消耗掉X光子3.8eV能量，因此每一个能量为 E的入射光子产生的电子一空穴对数目N= E／3.8。 加在Si（Li）上的偏压将电子一空穴对收集起来，每入射一个X光子，探测器输出一个微小的电荷脉冲，其高度正比于入射的X光子能量E、电荷脉冲经前置放大器、信号处理单元和模数转换器处理后以时钟脉冲形式进入多道分析