《现代材料测试技术》电子显微分析-概述.ppt

* * 电子显微分析 概述 一 电子光学基础 二 电子与固体物质的相互作用 三 透射电子显微分析 四 扫描电子显微分析 五 X射线能谱分析 电子显微分析是利用聚焦电子束与试样物质相互作用产生的各种物理信号，分析试样物质的微区形貌、晶体结构和化学组成。 概述 包括： 用透射电子显微镜进行的透射电子显微分析 用扫描电子显微镜进行的扫描电子显微分析 用电子探针仪进行的X射线显微分析 电子显微分析是材料科学的重要分析方法之一，与其它的形貌、结构和化学组成分析方法相比具有以下特点： 具有在极高放大倍率下直接观察试样的形貌、晶体结构和化学成分。 为一种微区分析方法，具有很高的分辨率，成像分辨率达到0.2～0.3nm（TEM），可直接分辨原子，能进行纳米尺度的晶体结构及化学组成分析。 各种仪器日益向多功能、综合性方向发展。 日本电子公司 JEM-２０１０　透射电镜 100/120kV 200kV ~1.3MV JEM-1011 JEM-1400 JEM-2100 JEM-2100F JEM-3010 JEM-3100F JEOL透射电镜系列 ＦＥＩ公司　ＴＥＣＮＡＩ　　　系列透射电镜 1、电子显微镜发展简史 1924年L. De和Broglie发现运动电子具有波粒二象性。 1926年Busch发现在轴对称的电磁场中运动的