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- 2020-11-07 发布于浙江
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《非蒸散型吸气剂吸气性能测试台》
使用说明书
上海市真空学会科技咨询部
(上海荣波照明电器有限公司)
2012 年
警 告
1.在对玻璃测试系统放大气前[包括:⑴拆下
CF16 法兰更 換吸气剂
样品时;⑵打开 V3 阀放大气时] 两只玻璃无脂阀 V6 、V7 都应处于“ 打
开” 状态,否则,会因充入的大气压力将阀芯顶起击碎玻璃无脂阀门!试验结束后应立即将两只玻璃无脂阀打开,以免上述情况发生。
2.在启闭玻璃无脂阀门时应小心地按规定的手势操作,以免,磁铁碰坏玻璃系统。
3.因分子泵冷却水的水温过高等原因引起分子泵报警时, 应及时按下
“ 分子泵控制器” 上的“ 停/复” 键、并立即寻找并排除“ 报警” 后,重新按下“ 运行” 键,使真空尽快恢复。
4.操作中应严防玻璃测试系统损坏!万一损坏,玻璃碎片会吸入真空系统(特别是高速旋转的分子泵中) ,会打坏分子泵叶片。一旦出现
玻璃测试系统损坏时应立即关掉“ 复合超高真空计” 、并按下“ 分子泵控
制器” 上的“ 停/复” 键,尽量减少损失
5.更換被测吸气剂样品时,应在拧紧 CF16 法兰螺栓前,先观察被测
样品是否处于试样室中央?有 没有偏向一边、甚至紧贴试样室玻管?
用万用表检查电极引线是否与金属外壳短路?在排除上述情况后再
按要求(更 換无氧铜密封圈后)拧紧 CF16 法兰螺栓。在用工具取下已用过无氧铜密封圈时,一定要小心,防止将法兰密封刀口划伤。
6.在贮气桶真空维持较好的情况下,可以将更 換贮气桶内 H2 的周期
控制在一个月左右。(更換贮气桶内 H2 最好在不作测试的时候进行)
更換贮气桶内 H2 的程序如下:
a.关闭 V1、 V3 阀,启动机械泵[此时, H2 钢瓶上的开关关死, V 5 阀处于关闭
状态];打开 V4[控制面板上的 “ 气压控制方式” 拨至“ 手动” 挡、充气电磁阀”V4 开
关处于“ 开” 位置];打开“ 减压器”(“ 减压器” 开关手柄顺时针旋转(顶进)为“ 开”);
逐步打开 V2 阀将贮气桶及充气管道(直至 H2 钢瓶接口)内的剩余 H2 抽去,再
将G 2 航空插头插入上面一台“ 复合超高真空计” “热偶计 1” 插座中,用G2 测量贮气桶内的真空度【注意: “ 减压器” 开关手柄顺时针旋转(顶进)为“ 开”、反时针旋转为“ 关”!】。
b.当G 2 测量的真空度达到 10 0Pa 数量级时, 按下“ 贮气桶加热”“开” 按钮,用绝缘
加热带对贮气桶加热除气 (其间,以热传导为工作机理的 “ 热偶规”G2 ,由
于外壳加热后读数会变得不准,显示 0.00 × 0; 同理,电容薄膜真空计G 3 的读
数也会变得不准,此时,系统真空度只要看G 1),1 小时后“ 关”“贮气桶加热”。
c.等“ 贮气桶” 温度降至常温后,G1 、G 2 的读数可进入 10 0Pa 数量级),甚至到 0.00 × 0Pa(超出“ 热偶规” 的测量下限)。
d.关闭 V2 阀,打开 H2 钢瓶上的阀门,缓缓调节(手柄顺时针旋转) “ 减压器” 开关手柄,将“ 减压器” 输出气压调至0.1M Pa,再将“ 充气电磁阀”V4 开关拨到 “ 关”
状态;然后,将“ 气压控制方式” 拨到“ 自动” 挡(通常,电容薄膜真空计G3 的气压控制设定值为 6k Pa),此时,在“ 试验气体供气和稳压系统”[由测量气压的“ 电容薄膜真空规”(G3)和用“ 电容薄膜计” 自动控制启闭的充气用高真空电磁阀( V4 )组成 “ 自动稳压系统”]控制下, “ 贮气桶” 内气压在测试过程中始终稳定在设定值上下。
e.为安全起见, H2 钢瓶上的阀门此时应关闭[通常,在测试过程中,消耗掉的
试验气体由充至长 1000mm 的 KF10 波纹管中的、压力为 0.1M Pa 的 H2 来补充;如被测样品吸气能力极大, 测试过程中这部分气体不够用时, 再打开关一次
H2 钢瓶上的阀门,再次给波纹管内充入试验气体] 。
7.每次测试前,必须向贮气桶及充气管道 (长 1000mm 的 KF10 波纹管 )补充试验气体( H2)。操作程序如下:
a. 在确认“ 减压器” 处于关闭(“ 减压器” 开关手柄反时针旋转为“ 关”),再将“ 气压控
制方式” 拨到“ 手动” 挡,且“ 充气电磁阀”V4 开关处于“ 关” 位置之后,打开钢瓶上的
阀门[此时,“ 减压器” 上的“ 输入气压表” 显示钢瓶内气压, 上的“ 输出气压
表” 显示
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