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在各类传感器中压力传感器具有体积小重量轻灵敏度高稳定可靠成本低便于集成化的优点可广泛用于压力高度加速度液体的流量流速液位压强的测量与控制除此以外还广泛应用于水利地质气象化工医疗卫生等方面由于该技术是平面工艺与立体加工相结合又便于集成化所以可用来制成血压计风速计水速计压力表电子称以及自动报警装置等压力传感器已成为各类传感器中技术最成熟性能最稳定性价比最高的一类传感器因此对于从事现代测量与自动控制专业的技术人员必须了解和熟识国内外压力传感器的研究现状和发展趋势压力传感器的发展历程现代压力传感器以半导
在各类传感器中压力传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定可靠、成本低、便于 集成化的优点,可广泛用于压力、高度、加速度、液体的流量、流速、液位、压强的测量
与控制。除此以外,还广泛应用于水利、地质、气象、化工、医疗卫生等方面。由于该技 术是平面工艺与立体加工相结合,又便于集成化 , 所以可用来制成血压计、风速计、水速 计、压力表、电子称以及自动报警装置等。压力传感器已成为各类传感器中技术最成熟、 性能最稳定、性价比最高的一类传感器。因此对于从事现代测量与自动控制专业的技术人 员必须了解和熟识国内外压力传感器的研究现状和发展趋势。
1、 压力传感器的发展历程
现代压力传感器以半导体传感器的发明
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