QSG3透明石英玻璃坩埚.docVIP

筑神-建筑下载: QSG3 透明石英玻璃坩埚 本标准适用于半导体工业拉制单晶用的高纯透明石英玻璃坩埚。 本坩埚采用天然石英熔制成坯体，并在其内表面涂一层高纯人造石英玻璃层。 一、技术要求 1．物理、化学性能指标 （1）化学成分 a．内涂层化学成分 铝、钙、镁、钛、铜、铁、钻，镍、锰、硼、钾、钠、理十三个杂质元素的总含 量不得大于 0．001％。 其中：铝≤5×l0[-4]％； 铜≤0．l×l0[-4]％； 铁≤0．5×l0[-4]％； 硼≤0．1×l0[-4]％； 钾≤1×l0[-4]％； 钠≤1×10[-4]％。 b．坩埚坯体化学成分 铝、钙、镁、钛、铜、铁、钴、镍、锰、硼、钾、钠、锂十三个杂质元素的总含 量不得大于 0．01％。 其中：铝≤60×10[-4]％； 铜≤0．1×l0[-4]％； 铁≤5×l0[-4]％； 硼≤0．3×l0[-4]％； 钾≤4×l0[-4]％； 钠≤4×l0[-4]％。 （2）热稳定性 试样在 1100℃至 20℃温度急变下试验三次，不产生裂纹。 （3）抗结晶性 筑神-建筑下载: 试样在 1200℃温度下恒温半小时，不允许出现直径大于 3 毫米的析晶白点，0．5～ 3 毫米的析晶白点，每 100 平方厘米不得超过 10 个。 （4）涂层厚度应均匀，折合重量应符合表 1 规定。 表1 外径D 涂层重量 外径 D 涂层重量 毫米 克 毫米 克 80