半导体表面答辩.pptVIP

体物理 SEMICONDUCTOR PHYSOS 西安电子科技大学 微电子学院 School of microelectronics  第五章半导体表面 51半导体表面和表面能级 52Si-SiO2系统中的表面态与表面处理 53表面能带弯曲与反型 54表面复合  51半导体表面和表面能级 基本定义: 达姆指出晶体自由表面的存在使晶体的周期性势场在表面 中断,从而引起附加能级,这种能级称为达姆表面能级 在晶体表面不附着氧化层或其它任何分子的所谓理想表面 情况下,对晶体表面求解薛定谔方程,结果表明电子被局 限在表面附近,这种电子状态称作表面态,对应的能级称 为表面能级,每个表面原子对应禁带中一个表面能级  表面态的性质 ·从晶体结构看,由于晶格在表面终止,表面上的每个硅原 子都有一个称为悬挂键的未饱和键,对应的电子状态就是 表面态,如图5.1和图5.2所示 Ec 表面能吸 图51表面处原子排列终止图 图52清洁表面的表面能级 School of microelectronics  ·原子面密度为1015cm2量级,悬挂键面密度(即表面态密度 也应该是1015cm2量级。 理想表面并不存在 受环境影响表面可能有物理吸附层或与之接触过的物质留 下的痕迹,或是生成氧化物或其它化合物。 如果Si表面生长SiO,表面大量悬挂键被氧