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MEMS考试复习题 第一章 绪论 微电子工业与MEMS的关系(网上搜索) 教材总结： 微电子工业与MEMS的关系主要有以下几点： 对于MEMS的发展而言，微电子工业集成电路技术是起始点，集成电路产业按照摩尔定律一直发展到今天，推动着信息社会的迅速发展。 电子器件小型化和多功能集成是微加工技术的推动力。 MEMS是由集成电路技术发展而来的。它经过了大约20年的萌芽阶段，在萌芽时期，主要是开展一些有关MEMS的零散研究。 PPT: 微系统是从微传感器发展而来的，已有几次突破性的进展。70年代微机械压力传感器产品问世，80年代末研制出硅静电微马达，90年代喷墨打印头，硬盘读写头、硅加速度计和数字微镜器件等相继规模化生产，充分展示了微系统技术及其微系统的巨大应用前景。 MEMS用批量化的微电子技术制造出尺寸与集成电路大小相当的非电子系统，实现电子系统和非电子系统的一体化集成，从???本上解决信息系统的微型化问题，实现许多以前无法实现的功能。 今天的MEMS与40年前的集成电路类似，MEMS对未来的社会发展的推动已经逐步显现，它也是21世纪初一个新的产业增长点。 几种主要的商业化MEMS器件及其优点(列举两到三种) MEMS压力传感器 优点：具有较高的测量精度、较低的功耗和极低的成本。 喷墨打印头 优点：廉价，性能好，可以提供高品质的彩色打印。（高分辨率，高对比度） 数字光处理器(DLP)