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扫描电镜显微分析简介  扫描电子显微镜  扫描电子显微镜  扫描电镜显微分析简介 概况 扫描电镜的优点 扫描电镜成像的物理信号 扫描电镜的工作原理 扫描电镜的构 扫描电镜的主要性能 应用举例  概况 扫描电子显微镜简称扫描电镜,英文缩 写:SEM。为适应不同要求,在扫描电镜 安装上多种专用附件,实现一机多用 使扫描电镜成为同时具有透射电子显微镜 (TEM)、电子探针x射线显微分析仪 (EPMA)、电子衍射仪(ED)等多种功 能的一种直观、快速、综合的表面分析仪 器。  扫描电镜的优点 高的分辨率。由于超高真空技术的发展,场发射 电子枪的应用得到普及,现代先进的扫描电镜的 分辨率已经达到1纳米左右 有较高的放大倍数,20-20万倍之间连续可调。 有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直 接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构 试样制备简单。 可直接观察大块试样 适用于固体材料样品表面和界面分析。 适合于观察比较粗糙的表面:材料断口和显微组 织三维  扫描电镜成像的物理信号 扫描电镜成像所用的物理 信号是电子束轰击固体样 品而激发产生的。具有· 次电子日电背散射电子 定能量的电子,当其入射俄歌电子\束 固体样品时,将与样品内 原子核和核外电子发生弹 性和非弹性散射过程,激 吸收电子 发固体样品产生多种