MOCVD预制催化法制备超黑吸光碳纳米管阵列的工艺研究.pdfVIP

目 录 摘 要i ABSTRACTii 第一章 绪论1 1.1 碳纳米管概述1 1.2 制备垂直定向碳纳米管阵列的催化剂研究2 1.2.1 催化剂种类2 1.2.2 催化剂制备工艺3 1.2.3 预处理工艺对催化剂结构与性能的影响7 1.2.4 缓冲层对催化剂结构与性能的影响9 1.3 碳纳米管阵列在吸光领域的研究现状11 1.3.1 碳纳米管阵列的吸光机理11 1.3.2 碳纳米管吸光材料研究现状12 1.4 本论文的研究意义及内容15 第二章 实验方法及过程17 2.1 实验试剂仪器与材料17 2.2 实验部分18 2.2.1 实验流程图18 2.2.2 基底清洗18 2.2.3 电子束蒸镀氧化铝缓冲层18 2.2.4MOCVD 工艺制备催化剂19 2.2.5TCVD 工艺制