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目 录
摘 要 i
ABSTRACT ii
第一章 绪论 1
1.1 课题来源与研究背景 1
1.1.1 课题来源 1
1.1.2 课题背景与意义 1
1.2 国内外发展现状概述 2
1.2.1 国外研究现状 3
1.2.2 国内研究现状 3
1.2.3 离子束抛光工艺 5
1.3 论文主要研究内容 7
第二章 石英摆片加工特点研究 8
2.1 石英摆片加工质量影响分析 8
2.1.1 石英摆式加速度计工作原理及模型分析 8
2.1.2 石英摆片加工质量影响分析 11
2.2 石英摆片加工难点分析 13
2.3 本章小结 15
第三章 石英摆片小束径离子束抛光工艺研究 16
3.1 小束径离子束工艺研究 16
3.1.1 小束径修形能力分析 16
3.1.2 小束径实现方法 17
3.2 石英基片和石英摆片夹具设计 18
3.2.1 石英基片夹具设计 18
3.2.2 石英摆片夹具设计 20
3.3 石英摆片修形研究 22
3.3.1 加工定位补偿分析 22
3.3.2 小束径去除函数分析 24
3.3.3 石英摆片加工验证 30
3.4 本章小结 33
第四章 石英基片表面缺陷去除研究 35
第 I 页
4.1 石英基片表面缺陷表征分析 35
4.2 石英基片表面缺陷去除实验 37
4.2.1 磁流变抛光去除函数实验 38
4.2.2 石英基片去损伤加工 40
4.3 石英摆片及基片加工工艺路线 41
4.4 本章小结 42
第五章 总结与展望 43
5.1 全文总结 43
5.2 研究展望 44
致 谢 45
参考文献 47
作者在学期间取得的学术成果 51
第 II 页
表 目 录
表3.1 去除函数实验参数 25
表3.2 石英摆片去除函数参数 26
表3.3 10mm 和5mm 光阑下的去除函数 29
表3.4 三凸台中心位置相对坐标 31
表3.5 石英摆片加工程序参数 31
表4.1 基片白光干涉仪测量粗糙度数据汇总 36
表4.2 基片原子力显微镜测量数据汇总 37
表4.3 磁流变去除函数实验参数 39
表4.4 磁流变加工参数 40
第 III 页
图 目 录
图1.1 机械摆式加速度计应用领域 2
图1.2 石英摆式加速度计及石英摆片示意图 3
图1.3 CO 激光切割重熔重凝现象 4
2
图1.4 膜层结合力差引起的掉膜现象 5
图1.5 离子束抛光原理示意图 6
图1.6 离子束系统结构示意图 6
图2.1 石英摆式加速度计表头结构简图 8
图2.2 石英摆片成品结构 9
图2.3 平板电容器结构示意图 1
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