周鸿军锌还原四氯化硅产业化应用研究.ppt

上海太阳能工程技术研宠中心 中国售片8 太能 梦提 切尺有可能  锌还原四氯化硅的产业化应用研究 周鸿军 (上海太阳能工程技术研究中心,上海紫竹科学园200241)  简介 、多晶硅国内现状 2、多晶硅生产主要副产物四氯化硅的应用 3、锌还原四氯化硅制取SOG多晶硅 经过产业化工程论证,认为产业化是可行的。  一、原理论证 锌还原四氯化硅的化学原理 1/2SiCl, Zn-1/2Si+ ZnCl 此原理依据温度高低的具体体现为 1、1/2siCl4(g)+Zn(1)→1/2si(s)+ZnCl2(1)692.7-1029K 2、1/2SiC14(g)+Zn(1)→1/2si(s)+ZnCl2(g)1029-1180 3、1/2siC14(g)+Zn(g)→1/2si(s)+ZnCl2(g)1180-1683 依据SiCl4(g)和Zn(置换反应的标准自由能的理论值计算如下 绝对温度(K) 873 973 1073 1173 △F(J) 187 49329 52137 62183  实验证明 为验证上述化学反应原理的实际可行性,设计简易实验原理图如图1,装 置如图2 siCl4口 加热部件 硅收集装置 图1简易实验原理图 图2实验生产装置图  图3实验生产出的多晶硅粉 4实验生产沉积的多晶硅 经过多次试验,发现用锌还原四氯化硅来生产的多晶硅质量是比 较好的,可以达到99.9%的纯度。显然这种多晶硅不能直接用于太 阳能电池,还需要进一步提纯  前人探索 在1954年时,国外由 Ken ji oNO and Tomoo Matallurgy就此原理 做了实验,验证过上述原理的可行性,取得多晶硅样品。 1955年时国外由专家I.J. KRCHMA ET AL也用试验验证过 Zn+1/2siC14→1/2Si+ZnC12原理的可行性。 1958年4月由北京有色研究总院首先在国内验证了上述原理的可 行性,并获得几百克针状多晶硅 2006年,日本太阳硅株式会社目标是力争2008年6月确立太阳能 电池用多晶硅的量产化技术。在此方面进行产业化研究,但具体 工艺实施路线还不清楚,根据行业背景判断,可能与本工艺路线 相近。  四、产业化创新研究 生产太阳能级多晶硅的工艺路线 基于前述实验的结果和杂质分析,提出如图5的工艺路线。 6个9SC4 多晶定国多是产品 45个 多反应 图5生产太阳能级多晶硅的工艺路线  2、生产多晶硅的原料处理 根据 Kubaschewski等的热力学数值计算出的工业锌中主要杂质元素金属状 态下与金属锌的蒸气压比值如下表1 表1不同温度下锌蒸气压与其他杂质金属蒸气压的比值 蒸气压比值800℃ 900℃ 000℃ 1100℃ p In /p rb 4.3x10 2.20x103 5.50x10 1.56x102 p'"a/p'2.21×1033.60×10 3.44x10°4.29×10° p'a!p'n.3.95x1023.08x10°1.56x10°1.13x10 p'a/p's1.81×1032.15x10° 63x10 68x10° p'is/p 1.31x1032 1.28x102 54.39 24.19  3、生产多晶硅的反应器 依据 1/2SiCl4(g)+Zn(g)→1/2Si(s)+ZnC12(g)1180-1683K的 原理,采用气体反应,当然是在恒温恒压的条件下进行。 锌的腐蚀性很高,所以必须考虑采用不与锌和四氯化硅反应的 高温材料。 工艺中通过适量控制锌的过量,是能够充分利用四氯化硅的, 四氯化硅的利用转化率达到90%,理论上可以达到100% 本反应器由我们自主研制,具有完全自主知识产权