特殊气体供应系统..pptVIP

SMIC 特殊气体介绍  SMIc 压力/重量单位 Pressure unit:(压力单位) psig表压,psa绝对压力 psia=psig+14.7 lbar=105Pa=10197Kg/cm2=14504ps=0.987atm latm=14.7 Flow rate unit:(流量单位) sccm毫升/分钟 slpm升/分钟 Islpm=1000sccm S表示标准状态,即:1大气压,20℃。 Weight unit:(重量单位) IKg=2.2Lbs SMIC Confidential www.smi  SMIc MSDS物质安全资料表 化学品及企业标识:化学品名称,企业名称企业应急电话等 危险性概述 危险性类别(8大类),侵入途径,健康危害等 ·急救措施 皮肤接触,眼睛接触,吸入等 消防措施:危险特性,有害燃烧产物,灭火方法及灭火剂,灭火注意事项等 泄露应急处理:应急处理和消除方法等 操作处置与储存:操作注意事项,储存注意事项等 接触控制/个体防护:最高容许浓度TV,呼吸系统防护,眼睛防护,身体防护等 理化特性:PH值,沸点(℃),相对蒸气密度(空气=1)等 废弃处置:废弃物性质,废弃处置方法,废弃注意事项等 ·法规信息:国内化学品安全管理法规,国际法规等 SMIC Confidential www.smi  SMIc 气体的定义 SMIC的特殊气体分为四种: 惰性气体 毒性气体 腐蚀性气体 可燃性/毒性气体 SMIC Confidential www.smi  SMIc 气体的定义 在SMIC总共有41种特殊气体 14种惰性气体 CF4,CHF3,C4F8,C2F6,SF6,CO2,C3F8,0.5%02/He,20%O2/N2, 30%002/He, 1.2 %Kr/Ne, 1.2 %oHe/N2, 100ppmXe/Ar/Ne, 99.5%oHe/N2 种毒性气体 SiH4, 1%PH3/N2, 1%PH3/H2, CO, 0.7%oAsH3/H2, B2H6 种腐蚀性气体 CIF3, NH3, SiF4, HCl, C12, HBr, 0.9%F2/1.2 %Kr/N 0.9%F2/3.5%Ar/Ne 10种可燃性/毒性气体 NO, SiH2C12(DCS), N20, NF3, 10%CH4/Ar, CH3F, CH2F2, C4F6 4%H2/N2,5%H2/He,CH4 Sub-Fab(腐蚀性)C5F8,BC3和wF6 SMIC Confidential www.smi  SMIc 气体房布置图 气体房包括CQC(连续质量控制)房,纯化器房惰性气体房毒性 气体房腐蚀性气体房和可燃性毒性气体房 气体房布置图如附件 Fab1 gas room Fab2 gas room ayout layout SMIC Confidential www.smi  SMIc 特使气体供应系统 特殊气体通过气瓶柜输送到特殊气体分配器MBMP,然后 送到机台端给制程用 特使气体供应系统包括3部分: 气瓶柜一气体供应的源头,供应稳定压力的气体 VMB/VMP一气体分配器,装有阀门来控制每一路气体管道 机台一特殊气体的最终用户 SMIC Confidential www.smi  SMIc 特殊气体供应流程图 1st Floor Gas Room 2nd Floor sub-Fab 3rd floor clean rool 1楼气体房 2楼次洁净室 3楼洁净室 : 囗画/ GC气瓶柜 VMB/VMP Tools机台 SMIC Confidential www.smi  SMIc 气体房 SMIC Confidential   SMIc FAB1特气气瓶柜 △△日 SMIC Confidential www.smi