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80 机电技术 2017年8月
压电喷墨打印头聚合物喷孔制作工艺研究
冯 建 波 伊 茂 聪 杨 正 邹 赫 麟
(大连理工大学机械工程学院，辽 宁 大 连 116024)
摘要:描述了一种压电喷墨打印头 SU -8光刻胶锥形喷孔的制作方法。该方法基于接近式曝光工艺和键合工艺，首
先在 PDMS基底上旋涂 SU -8光刻胶，通过控制曝光量
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