光刻机行业深度研究报告.pdf

光刻机行业深度研究报告 目录 一、光刻是芯片生产流程中最复杂、最关键的步骤 4 （一）光刻是 IC 制造中的关键环节，耗时长，成本高 4 （二）光刻工艺流程详解 4 二、光刻机：半导体制造业皇冠上的明珠 9 （一）光刻机原理与内部结构 9 （二）光刻机的发展本质是为了满足更高性能、更低成本芯片的生产需求 10 （三）光刻机发展史：光源改进 +工艺创新推动光刻机更新换代 11 三、 ASML ：全球光刻机绝对龙头 15