半导体厂务工作(精).pdf

半导体厂务工作 半导体厂务工作 吴世全 吴世全 国家奈米组件实验室 国家奈米组件实验室 一、前言 一、前言 近年来，半导体晶圆厂已进展到 8晶圆的量产规模，同时，也着手规划 12晶圆的建厂与生 近年来，半导体晶圆厂已进展到 8晶圆的量产规模，同时，也着手规划 12晶圆的建厂与生 产，准备迎接另一世代的产业规模。于是各厂不断地扩增其产能与扩充其厂区规模，似乎稍一 产，准备迎接另一世代的产业规模。于是各厂不断地扩增其产能与扩充其厂区规模，似乎稍一 停顿即会从此竞争中败下阵来。所以，推促着制程技术不断地往前迈进，从 0.25μ m设计规格 停顿即会从此竞争中败下阵来。所以，推促着制程技术不断地往前迈进，从 0.25μ m设计规格 的 64Mb（兆位）DRAM（动态随机存储元件）内存密度的此际技术起，又加速地往 0.18μ m规 的 64Mb（兆位）DRAM（动态随机存储元件）内存密度的此际技术起，又加速地往 0.18μ m规 格的 256M发展；甚至 0.13μ m的 1Gb （千兆位）集积度的 DRAM组件设计也屡见不鲜。亦即整 格的 256M发展；甚至 0.13μ m的 1Gb （千兆位）集积度的 DRAM组件设计也屡见不鲜。亦即整 个半导体产业正陷入尖端技术更迭的追逐战，在竞争中，除了更新制程设备外，最重要的是维 个半导体产业正陷入尖端技术更迭的追逐战，在竞争中，除了更新制程设备外，最重要的是维 持厂区正常运作的厂务工作之配合，而这两方面的支出乃占资本财的最大宗。特别是多次的工 持厂区正常运作的厂务工作之配合，而这两方面的支出乃占资本财的最大宗。特别是多次的工 安事故及环保意识抬头之后，厂务工作更是倍显其重要及殷切。 安事故及环保意识抬头之后，厂务工作更是倍显其重要及殷切。 事实上，半导体厂的厂务工作为多援属性的 事实上，半导体厂的厂务工作为多援属性的 任务，也是后勤配合与收摊 （废弃物）处理的工作；平时很难察觉其重要性，但状况一出，即 任务，也是后勤配合与收摊 （废弃物）处理的工作；平时很难察觉其重要性，但状况一出，即 会令整厂鸡飞狗跳，人仰马翻，以致关厂停机的地步。所以，藉此针对厂务工作的内容做一概 会令整厂鸡飞狗跳，人仰马翻，以致关厂停机的地步。所以，藉此针对厂务工作的内容做一概 略性的描述，说明其重要性并供作参考与了解。文章分为三部份：首先为厂务工作的种类，其 略性的描述，说明其重要性并供作参考与了解。文章分为三部份：首先为厂务工作的种类，其 次是厂务工作的未来方向，最后是本文的结语。 次是厂务工作的未来方向，最后是本文的结语。 二、厂务工作的种类 二、厂务工作的种类 目前在本实验室所代表的半导体制程的厂务工作，约可分为下列数项： 目前在本实验室所代表的半导体制程的厂务工作，约可分为下列数项： 1.一般气体及特殊气体的供应及监控。 1.一般气体及特殊气体的供应及监控。 2.超纯水之供应。 2.超纯水之供应。 3.中央化学品的供应。 3.中央化学品的供应。 4.洁净室之温度，湿度的维持。 4.洁净室之温度，湿度的维持。 5.废水及废气的处理系统。 5.废水及废气的处理系统。 6.电力，照明及冷却水的配合。 6.电力，照明及冷却水的配合。