2018年上海首批次新材料支持指引.docxVIP

附件 2018年度上海市首批次新材料支持指南 编号1 应用领域］ 新材料名称 主要性能指标］ 一~一 1 重大工程和重点产业配套材料 1、丨 新一代信息技术产业用材料 1.1 J 电子材料及 电子化学品 12英寸SOI晶片 顶层硅厚度均匀性小于12.5nm , HQF＞80db 。 12英寸抛光片 GBIR1 pm ; SFQRW65nm ;翘曲小于 35卩m ; 金属污染少于 0.5EI0 atom/cm 3 ;边缘去除 2mm。 半导体装备大尺寸精 密陶瓷部件 产品密度3.90g/m 3，产品尺寸精度土 0.002mm，表面粗糙度土 0.002mm。 通用级液晶高分子复 合材料 热变形温度》260 °C,拉伸强度》130 MPa，弯曲强度》200 MPa。 ArF浸没式光刻胶 适用于28-10nm 技术节点的ArF浸没 式（193i ）光刻胶。 超净高纯化学试剂 电子级盐酸、硝酸。单个金属杂质含量 ＜100ppt，颗粒（》0.2 pm） ＜100 个 /mL ,电子级盐酸浓度 35.0-37.0%， 电子级硝酸浓度70.0-71.0%。 1.2 直径＞5央寸，导电类型n-type，载流 子浓度 3 X1e17cm -3，E.PD＜1 Xe4。 新型显示材料 硅基氮化傢外延片 1.3 光缆用无卤阻燃护套料 拉伸强度＞10MPa，断裂伸长率＞ 150%，氧指数＞ 30。 电缆用