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DCLS自由电子激光装置机械工程精确 +稳定 殷立新 上海应用物理研究所 2014.09 目录 机械工程任务与要求 准直测量 稳定性 样机、集成单元 在硬件上实现束流物理设计 机械工程的任务 * DCLS主体装置布局 DCLS对机械工程的要求 关键元件的位置精度满足要求； 关键元件机械稳定性满足要求； 技术上能够实现； 不发生静态或动态干涉； 与公用设施、建筑相互协调； 易于安装，便于维护； 经费合理,进度满足要求。 四极磁铁横向位置偏差控制在±10μm 波荡器段间垂直偏差小于50?m 波荡器气隙控制精度好于5?m 隧道温度必须控制在0.7度以内 隧道地板变形?z 100μm/10m/year 部件名称 横向准直公差 (?X) 纵向准直公差 (?Z) 旋转准直公差 (??) 波荡器 ±100μm ±150μm ±10mrad 校正磁铁 ±500μm ±500μm ±20mrad 二极磁铁 ±500μm ±150μm ±1mrad 四极磁铁 （BBA） ±100μm ±10μm ±500μm ±50μm ±5mrad ±1mrad FEL光源特别要求 波荡器中电子束流中心轨道偏差几μm ～十几μm 四极磁铁横向位置偏差～十μm; 波荡器横向位置偏差几十～一百μm 准直测量 控制网的建立 单个元件的标定 共架机构的预安装准直 隧道内安装准直 平滑处理 定期