IC工艺技术13集成电路可靠性 .pptxVIP

集成电路技术讲座第十三讲;集成电路可靠性;（一）可靠性概念和表征方法;可靠性概念和表征方法;可靠性概念和表征方法;与失效速率有关的函数;失效函数的描述;塑封器件现场统计失效率例(FIT);器件失效对系统性能的影响 ;（二）失效规律－浴盆曲线;浴盆曲线;早期失效期;有用寿命期（随机失效期）;耗损失效期;（三）硅片级可靠性设计和测试;硅片级可靠性（工艺可靠性）; 可靠性设计;可靠性设计－电路设计时的考虑;可靠性设计－器件和版图结构设计时的考虑;可靠性设计－工艺设计时的考虑;硅片级可靠性测试;TDDB;TDDB测试;TDDB;TDDB;电迁移现象;电迁移测试;热电子效应;热电子效应测试;（四）老化和可靠性试验;老化筛选 (Burn in);老化筛选(例）;可靠性试试验 (1);可靠性试试验(2);加速测试(1);加速因子;加速因子;加速因子（例）;可靠性试验种类;高温工作寿命（HTOL);高温反偏试验 (HRB);高温反偏试验数据例;温度循环（T/C）;高压蒸煮（PCT/Autoclave）;高温高湿电加速（THB/HAST）;常用可靠性试验汇总表 (1);常用可靠性试验汇总表 (2);常用可靠性试验汇总表 (3);常用可靠性试验汇总表 (4);常用可靠性试验汇总表 (5);（五）失效模式和失效分析;Distribution of failure in commercial IC ;失效模式;失效模式－芯片工艺引起的失效;失效模式－封装工艺引起的失效;失效分析流程;失效分析流程（续）;失效分析流程（续）;失效分析技术／工具;失效分析技术／工具;X射线成像术;声扫描显微镜成像原理(1);;失效机理分析;失效分析－机械原因;容易开裂的部位;金属疲劳引起的断裂;失效分析－热的原因;失效分析－电的原因;失效分析－辐射原因;失效分析－化学原因;开裂产生及延伸;钝化层开裂;界面分层;;ball lift-off;化学锈蚀;化学锈蚀（例）;ESD失效（例）;9、春去春又回，新桃换旧符。在那桃花盛开的地方，在这醉人芬芳的季节，愿你生活像春天一样阳光，心情像桃花一样美丽，日子像桃子一样甜蜜。6月-206月-20Monday, June 22, 2020 10、人的志向通常和他们的能力成正比例。12:18:4712:18:4712:186/22/2020 12:18:47 PM 11、夫学须志也，才须学也，非学无以广才，非志无以成学。6月-2012:18:4712:18Jun-2022-Jun-20 12???越是无能的人，越喜欢挑剔别人的错儿。12:18:4712:18:4712:18Monday, June 22, 2020 13、志不立，天下无可成之事。6月-206月-2012:18:4712:18:47June 22, 2020 14、Thank you very much for taking me with you on that splendid outing to London. It was the first time that I had seen the Tower or any of the other famous sights. If Id gone alone, I couldnt have seen nearly as much, because I wouldnt have known my way about. 。22 六月 202012:18:47 下午12:18:476月-20 15、会当凌绝顶，一览众山小。六月 2012:18 下午6月-2012:18June 22, 2020 16、如果一个人不知道他要驶向哪头，那么任何风都不是顺风。2020/6/22 12:18:4712:18:4722 June 2020 17、一个人如果不到最高峰，他就没有片刻的安宁，他也就不会感到生命的恬静和光荣。12:18:47 下午12:18 下午12:18:476月-20