材料现代微观分析技术背散射电子衍射.pptVIP

第 7 章 背散射电子衍射 （ EBSD ） EBSD 技术特点： ? (1) 继 X 射线衍射和电子衍射之后又一种微区物相 分析方法。 (2) 晶体取向分析功能（微区织构分析）。 (3) EBSD 分析速度快 ( 每秒钟可测定 800-1000 个 点 ) ，计算机控制自动采集数据。所以在晶体结构 及取向分析上既具有透射电镜（微区）的特点又 具有 X 射线衍射（整体）统计分析的特点。 (4) EBSD 样品制备简单。 ? ? ? EBSD 技术正在材料科学研究中得到广泛应用。 背散射电子衍射仪的基本构成 基本要求：一台扫描电子显微 镜和一套 EBSD 系统。 EBSD 硬件部分通常包括一台高 灵敏度的 CCD 摄像机和一套用来花 样平均化和扣除背底的图像处理系 统。 背散射电子衍射仪结构图 背散射电子衍射原理 a 菊 池 线 的 形 成 O 球 点 形 非 子 弹 波 性 的 散 波 射 源 I EBSD 花样 EBSD 花样与晶体取向的关系 EBSD 的图形种类 通过电子束在样品表面进行线扫描或面扫描 采集数据，进而可得到 1. 取向成像图（ OIF 图） 2. 极图和反极图 3. 取向 ( 差 ) 分布函数 根据 EBSD 图可以在很短时间内获得样品的晶体 学信息：晶体织构和界面取向差；晶粒尺寸及形 状分布；晶界、亚晶及孪晶界性质分析；应变和 再结晶的分析；相鉴定及相比率计算等。 取向成像图 多晶钛变形量前的晶粒取向 多晶钛变形量后的晶粒取向 奥氏体不锈钢的取向成像图 极图和反极图 极图 反极图 取向分布函数图（ ODF 图） 表示在取向空 间内不同取向 的分布密度 金刚石薄膜 ODF 图 {100} {411} Ф φ 1 φ 2 =45° {111} {122} {011} 不同甲烷浓度条件下沉积的金刚石薄膜织构 φ 1 {100} φ 2 =45° Φ {211} {111} {122} {011} 不同温度条件下沉积的金刚石薄膜织构 双 相 钢 物 相 与 晶 体 取 向 FCC BCC 奥氏体不锈钢晶粒的不同取向 EBSD 测量的是 样品中每一点的取 向，所以可以获得 不同点或不同区域 的取向差异，从而 可以研究晶界或相 界等界面，如图中 任意画一条线，就 可得到沿此线的取 向差分布。