生物医学工程先进制造：软光刻技术.pptVIP

五、弹性印章的制作 在软光刻中，通常浇铸铸模获得 PDMS 弹性印模和弹性模。 目前已有快速廉价地制作特征尺寸大于或等于 20μm 的主模。 具体步骤如下：先用 ConventorWare、AutoCAD 等专业设计软件设计出图案，再用高精度的激光打印机（3387dpi）将图案打印到透明的聚合物模上。该方法几小时内就可制得光掩膜。 六、材料的选取 考虑因素：①固化方式 ②阴模材料聚合收缩率 ③结构深宽比 若制作最终光学元件的材料是紫外固化的，常用DOW CORING的SylgardTM184作为制作阴模的硅酮材料，因为该材料具有很好的光学透过率，且对紫外光也有较好的透过率。 若采用热固化光学树脂作为零件的材料，亦可使用通用电气公司（GE）的多种热固化树脂（RTV）作为阴模材料。 典型材料 聚二甲基硅氧烷(PDMS) Polydimethylsiloxane (PDMS)中文名为聚二甲基硅氧烷。它是软光刻技术中最常用的弹性模材料，相对于其他弹性材料如聚氨酯（Polyurethanes）、聚酰亚胺（Polyimldes）和 Novolac 树脂等等 PDMS 具有下面的特点： ①它是一种弹性材料，能满足底物表面大面积成模的要求并与底物有良好接触一致性，能用于非平面的表面微图案复制。 ②其成模界面自由能较低且化学惰性，制模过程中的吸附底物表